Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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In the present invention, a sample holding tool is provided with: an insulating substrate formed from an alumina ceramic and having on the top surface thereof a sample holding surface; and an electrostatic adsorption electrode disposed within the insulating substrate. The insulating substrate has an average particle diameter of 2-15 µm and a particle diameter deviation of 2-7 µm.
L'invention concerne un outil de maintien d'échantillon qui comprend : un substrat isolant formé à partir d'une céramique d'alumine et sur la surface supérieure duquel est présente une surface de maintien d'échantillon; et une électrode d'adsorption électrostatique disposée à l'intérieur du substrat isolant. Le substrat isolant a un diamètre moyen de particule compris entre 2 et 15 µm et un écart de diamètre de particule compris entre 2 et 7 µm.
試料保持具は、上面に試料保持面を有するアルミナ質セラミックスから成る絶縁基板と、該絶縁基板の内部に設けられた静電吸着用電極とを備えており、前記絶縁基板の平均粒径は２～１５μｍ、且つ粒径偏差は２～７μｍである。
In the present invention, a sample holding tool is provided with: an insulating substrate formed from an alumina ceramic and having on the top surface thereof a sample holding surface; and an electrostatic adsorption electrode disposed within the insulating substrate. The insulating substrate has an average particle diameter of 2-15 µm and a particle diameter deviation of 2-7 µm.
L'invention concerne un outil de maintien d'échantillon qui comprend : un substrat isolant formé à partir d'une céramique d'alumine et sur la surface supérieure duquel est présente une surface de maintien d'échantillon; et une électrode d'adsorption électrostatique disposée à l'intérieur du substrat isolant. Le substrat isolant a un diamètre moyen de particule compris entre 2 et 15 µm et un écart de diamètre de particule compris entre 2 et 7 µm.
試料保持具は、上面に試料保持面を有するアルミナ質セラミックスから成る絶縁基板と、該絶縁基板の内部に設けられた静電吸着用電極とを備えており、前記絶縁基板の平均粒径は２～１５μｍ、且つ粒径偏差は２～７μｍである。
SAMPLE HOLDING TOOL
OUTIL DE MAINTIEN D'ÉCHANTILLON
試料保持具
ONO HIROSHI (Autor:in)
04.08.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
B23Q
DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING
,
Einzelheiten, Bestandteile oder Zubehör für Werkzeugmaschinen, z.B. Anordnungen zum Kopieren oder Steuern
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H02N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
,
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR