APPARATUS FOR FORMING SILICON CARBIDE: Fid-Bau Portal

APPARATUS FOR FORMING SILICON CARBIDE

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실시예에 따른 실리콘 카바이드 제조장치는, 실리콘 소스 및 카본 소스를 포함하는 원료를 수용하는 도가니; 및 상기 원료 내에 배치되는 가스 배출부를 포함한다.

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Titel:

APPARATUS FOR FORMING SILICON CARBIDE

Weitere Titelangaben:

실리콘 카바이드 제조장치

Erscheinungsdatum:

30.08.2018

Medientyp:

Patent

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Koreanisch

Klassifikation:

IPC: C30B SINGLE-CRYSTAL GROWTH , Züchten von Einkristallen / C04B Kalk , LIME

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