Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
본 발명은 전기 절연성이 우수한 고열전도 질화규소 세라믹스 기판을 제공하는 것으로서, 산소함유량이 0.3 wt.% 이하이고, β상의 아스펙트비(Aspect Ratio)가 3 내지 7의 범위인 질화규소 분말 (β화율 100 %)에, α상 질화규소 분말 (α화율 95 %)을 3:7로 혼합한 질화규소 분말을 사용함을 특징으로 하며, α상 질화규소분말은 Seed 분말로 β화율을 촉진시키는 효과가 있는 특징이 있다. 상기혼합(α+β) 질화규소 분말에 MgAlO, YO, YbO, MgO-AlO, AlO-AlN, YO-AlN, YO-AlN, HfO, YO-AlN-ZrO, LaO, NdO및 GdO로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종 또는 2종 이상의 물질을 0.4∼10 wt.％ 첨가한 원료 혼합체를 N와 H가 혼합된 0.1 내지 9 MPa의 가스 분위기에서 1650∼1900 ℃으로 5∼30 시간 소결한 후 서냉하여 냉각시키므로서, 소결시 형성된 액상이 결정화하여 절연내격 13V/m 이상, 내열충격(수중투하시) 800 ℃이상, 열전도율 60 W/mk 이상인 것을 특징으로 하는 질화규소 세라믹스 기판에 관한 것이다. 본 발명의 절연성이 우수한 질화규소 세라믹스 기판은 고강도 특성을 유지함과 동시에 열전도율이 높고 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다.
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
본 발명은 전기 절연성이 우수한 고열전도 질화규소 세라믹스 기판을 제공하는 것으로서, 산소함유량이 0.3 wt.% 이하이고, β상의 아스펙트비(Aspect Ratio)가 3 내지 7의 범위인 질화규소 분말 (β화율 100 %)에, α상 질화규소 분말 (α화율 95 %)을 3:7로 혼합한 질화규소 분말을 사용함을 특징으로 하며, α상 질화규소분말은 Seed 분말로 β화율을 촉진시키는 효과가 있는 특징이 있다. 상기혼합(α+β) 질화규소 분말에 MgAlO, YO, YbO, MgO-AlO, AlO-AlN, YO-AlN, YO-AlN, HfO, YO-AlN-ZrO, LaO, NdO및 GdO로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종 또는 2종 이상의 물질을 0.4∼10 wt.％ 첨가한 원료 혼합체를 N와 H가 혼합된 0.1 내지 9 MPa의 가스 분위기에서 1650∼1900 ℃으로 5∼30 시간 소결한 후 서냉하여 냉각시키므로서, 소결시 형성된 액상이 결정화하여 절연내격 13V/m 이상, 내열충격(수중투하시) 800 ℃이상, 열전도율 60 W/mk 이상인 것을 특징으로 하는 질화규소 세라믹스 기판에 관한 것이다. 본 발명의 절연성이 우수한 질화규소 세라믹스 기판은 고강도 특성을 유지함과 동시에 열전도율이 높고 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다.
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
전기절연성이 우수한 고열전도성 질화규소 세라믹스 기판
27.09.2018
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
| Europäisches Patentamt | 2018
Fabrication of high thermal-conductive silicon nitride ceramics with low dielectric loss
| British Library Online Contents | 2009
| Europäisches Patentamt | 2018
| Europäisches Patentamt | 2019
Silicon nitride ceramics with sodium ion conductive grain boundary phase
| British Library Online Contents | 2003