A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
본 발명은 전기 절연성이 우수한 고열전도 질화규소 세라믹스 기판을 제공하는 것으로서, 산소함유량이 0.3 wt.% 이하이고, β상의 아스펙트비(Aspect Ratio)가 3 내지 7의 범위인 질화규소 분말 (β화율 100 %)에, α상 질화규소 분말 (α화율 95 %)을 3:7로 혼합한 질화규소 분말을 사용함을 특징으로 하며, α상 질화규소분말은 Seed 분말로 β화율을 촉진시키는 효과가 있는 특징이 있다. 상기혼합(α+β) 질화규소 분말에 MgAlO, YO, YbO, MgO-AlO, AlO-AlN, YO-AlN, YO-AlN, HfO, YO-AlN-ZrO, LaO, NdO및 GdO로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종 또는 2종 이상의 물질을 0.4∼10 wt.％ 첨가한 원료 혼합체를 N와 H가 혼합된 0.1 내지 9 MPa의 가스 분위기에서 1650∼1900 ℃으로 5∼30 시간 소결한 후 서냉하여 냉각시키므로서, 소결시 형성된 액상이 결정화하여 절연내격 13V/m 이상, 내열충격(수중투하시) 800 ℃이상, 열전도율 60 W/mk 이상인 것을 특징으로 하는 질화규소 세라믹스 기판에 관한 것이다. 본 발명의 절연성이 우수한 질화규소 세라믹스 기판은 고강도 특성을 유지함과 동시에 열전도율이 높고 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다.
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
본 발명은 전기 절연성이 우수한 고열전도 질화규소 세라믹스 기판을 제공하는 것으로서, 산소함유량이 0.3 wt.% 이하이고, β상의 아스펙트비(Aspect Ratio)가 3 내지 7의 범위인 질화규소 분말 (β화율 100 %)에, α상 질화규소 분말 (α화율 95 %)을 3:7로 혼합한 질화규소 분말을 사용함을 특징으로 하며, α상 질화규소분말은 Seed 분말로 β화율을 촉진시키는 효과가 있는 특징이 있다. 상기혼합(α+β) 질화규소 분말에 MgAlO, YO, YbO, MgO-AlO, AlO-AlN, YO-AlN, YO-AlN, HfO, YO-AlN-ZrO, LaO, NdO및 GdO로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종 또는 2종 이상의 물질을 0.4∼10 wt.％ 첨가한 원료 혼합체를 N와 H가 혼합된 0.1 내지 9 MPa의 가스 분위기에서 1650∼1900 ℃으로 5∼30 시간 소결한 후 서냉하여 냉각시키므로서, 소결시 형성된 액상이 결정화하여 절연내격 13V/m 이상, 내열충격(수중투하시) 800 ℃이상, 열전도율 60 W/mk 이상인 것을 특징으로 하는 질화규소 세라믹스 기판에 관한 것이다. 본 발명의 절연성이 우수한 질화규소 세라믹스 기판은 고강도 특성을 유지함과 동시에 열전도율이 높고 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다.
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
전기절연성이 우수한 고열전도성 질화규소 세라믹스 기판
2018-09-27
Patent
Electronic Resource
Korean
HIGH THERMAL CONDUCTIVE SILICON NITRIDE CERAMICS SUBSTRATE WITH EXCELLENT ELECTRIC ISOLATION
| European Patent Office | 2018
Fabrication of high thermal-conductive silicon nitride ceramics with low dielectric loss
| British Library Online Contents | 2009
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2019
Silicon nitride ceramics with sodium ion conductive grain boundary phase
| British Library Online Contents | 2003