APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING SILICON CARBIDE: Fid-Bau Portal

APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING SILICON CARBIDE

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탄화 규소 제조방법 및 탄화 규소 제조 장치가 개시된다. 탄화 규소 제조장치는 반응부; 상기 반응부에 탄소원 입자들을 공급하는 탄소원 공급부; 및 상기 반응부에 일산화 규소를 공급하는 규소원 공급부를 포함한다.

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Titel:

APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING SILICON CARBIDE

Weitere Titelangaben:

탄화 규소 제조장치 및 제조방법

Erscheinungsdatum:

21.12.2018

Medientyp:

Patent

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Koreanisch

Klassifikation:

IPC: C04B Kalk , LIME / B01J Chemische oder physikalische Verfahren, z.B. Katalyse oder Kolloidchemie , CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY

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