Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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APPARATUS FABRICATING SILICON CARBIDE GRANULE SILICON CARBIDE GRANULE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
실시예에 따른 탄화규소 과립체 제조 장치는, 원료를 혼합하는 혼합 장치; 상기 혼합 장치에서 혼합된 원료를 수용하는 챔버; 상기 챔버의 외부에 위치하는 에어 공급부; 및 상기 에어 공급부와 연결되고, 상기 챔버 내로 에어(air)를 공급하는 에어 공급 라인을 포함하고, 상기 에어 공급 라인은 헤파 필터(HEPA filter)를 포함한다. 실시예에 따른 탄화규소 과립체 제조 방법은, 원료를 혼합 장치로 혼합하는 단계; 상기 혼합 장치에서 혼합된 원료를 챔버로 공급하는 단계; 상기 챔버 내로 에어 공급부에서 에어를 공급하는 단계; 및 상기 혼합된 원료를 건조시키는 단계를 포함하고, 상기 에어는 상기 에어 공급부와 연결된 에어 공급라인에 의해 상기 챔버로 공급되고, 상기 에어 공급 라인은 헤파 필터를 포함한다. 실시예에 따른 탄화규소 과립체는, 순도가 3N 내지 4N 이다.
APPARATUS FABRICATING SILICON CARBIDE GRANULE SILICON CARBIDE GRANULE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
실시예에 따른 탄화규소 과립체 제조 장치는, 원료를 혼합하는 혼합 장치; 상기 혼합 장치에서 혼합된 원료를 수용하는 챔버; 상기 챔버의 외부에 위치하는 에어 공급부; 및 상기 에어 공급부와 연결되고, 상기 챔버 내로 에어(air)를 공급하는 에어 공급 라인을 포함하고, 상기 에어 공급 라인은 헤파 필터(HEPA filter)를 포함한다. 실시예에 따른 탄화규소 과립체 제조 방법은, 원료를 혼합 장치로 혼합하는 단계; 상기 혼합 장치에서 혼합된 원료를 챔버로 공급하는 단계; 상기 챔버 내로 에어 공급부에서 에어를 공급하는 단계; 및 상기 혼합된 원료를 건조시키는 단계를 포함하고, 상기 에어는 상기 에어 공급부와 연결된 에어 공급라인에 의해 상기 챔버로 공급되고, 상기 에어 공급 라인은 헤파 필터를 포함한다. 실시예에 따른 탄화규소 과립체는, 순도가 3N 내지 4N 이다.
APPARATUS FABRICATING SILICON CARBIDE GRANULE SILICON CARBIDE GRANULE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
탄화규소 과립체 제조 장치, 탄화규소 과립체 및 이의 제조 방법
25.02.2019
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Apparatus for fabricating Silicon carbide structure and method of fabricating the same
| Europäisches Patentamt | 2023