Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
본 발명은 접합강도가 우수한 질화세라믹스(AlN, SiN) 배선 기판에 관한 것으로서, 소결 후 시간당 100℃ 이하의 속도로 서냉하고, 샌드블라스트법으로 질화규소 표면에 요철을 만들어 접합하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 질화물 세라믹스 배선 기판은 질화알루미늄(AlN), 질화규소(SiN) 소결체가 본래 구비하는 고강도 특성과 함께, 특히 활성금속 접합법(Active Metal Brazed Copper:AMC)을 이용하여, 접합강도가 우수하여 신뢰성이 높고, 열전도율 및 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다
A method for manufacturing active metal-brazed a nitride ceramics substrate having excellent joining strength, includes: a step of preparing a mixed raw material; a step of forming a green sheet of the mixed raw material by a tape casting method; a step of removing a binder by performing degreasing; a step of performing sintering; a step of forming an aluminum nitride sintered substrate by performing gradual cooling; and a step of printing a conductive wiring pattern with active metal paste on the aluminum nitride sintered substrate.
Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
본 발명은 접합강도가 우수한 질화세라믹스(AlN, SiN) 배선 기판에 관한 것으로서, 소결 후 시간당 100℃ 이하의 속도로 서냉하고, 샌드블라스트법으로 질화규소 표면에 요철을 만들어 접합하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 질화물 세라믹스 배선 기판은 질화알루미늄(AlN), 질화규소(SiN) 소결체가 본래 구비하는 고강도 특성과 함께, 특히 활성금속 접합법(Active Metal Brazed Copper:AMC)을 이용하여, 접합강도가 우수하여 신뢰성이 높고, 열전도율 및 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다
A method for manufacturing active metal-brazed a nitride ceramics substrate having excellent joining strength, includes: a step of preparing a mixed raw material; a step of forming a green sheet of the mixed raw material by a tape casting method; a step of removing a binder by performing degreasing; a step of performing sintering; a step of forming an aluminum nitride sintered substrate by performing gradual cooling; and a step of printing a conductive wiring pattern with active metal paste on the aluminum nitride sintered substrate.
Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
질화물 세라믹스 활성금속 브레이징 기판의 제조방법
30.07.2020
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
| Europäisches Patentamt | 2020
Brazing of Silicon Nitride Ceramics
| British Library Online Contents | 1994
Low-temperature active brazing filler metal and method for brazing silicon carbide ceramics
| Europäisches Patentamt | 2021
| Europäisches Patentamt | 2016