A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
본 발명은 접합강도가 우수한 질화세라믹스(AlN, SiN) 배선 기판에 관한 것으로서, 소결 후 시간당 100℃ 이하의 속도로 서냉하고, 샌드블라스트법으로 질화규소 표면에 요철을 만들어 접합하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 질화물 세라믹스 배선 기판은 질화알루미늄(AlN), 질화규소(SiN) 소결체가 본래 구비하는 고강도 특성과 함께, 특히 활성금속 접합법(Active Metal Brazed Copper:AMC)을 이용하여, 접합강도가 우수하여 신뢰성이 높고, 열전도율 및 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다
A method for manufacturing active metal-brazed a nitride ceramics substrate having excellent joining strength, includes: a step of preparing a mixed raw material; a step of forming a green sheet of the mixed raw material by a tape casting method; a step of removing a binder by performing degreasing; a step of performing sintering; a step of forming an aluminum nitride sintered substrate by performing gradual cooling; and a step of printing a conductive wiring pattern with active metal paste on the aluminum nitride sintered substrate.
Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
본 발명은 접합강도가 우수한 질화세라믹스(AlN, SiN) 배선 기판에 관한 것으로서, 소결 후 시간당 100℃ 이하의 속도로 서냉하고, 샌드블라스트법으로 질화규소 표면에 요철을 만들어 접합하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 질화물 세라믹스 배선 기판은 질화알루미늄(AlN), 질화규소(SiN) 소결체가 본래 구비하는 고강도 특성과 함께, 특히 활성금속 접합법(Active Metal Brazed Copper:AMC)을 이용하여, 접합강도가 우수하여 신뢰성이 높고, 열전도율 및 방열성이 우수하기 때문에 대전력용 및 대용량용 각종 파워 모듈용 기판으로 적합하게 사용될 수 있다
A method for manufacturing active metal-brazed a nitride ceramics substrate having excellent joining strength, includes: a step of preparing a mixed raw material; a step of forming a green sheet of the mixed raw material by a tape casting method; a step of removing a binder by performing degreasing; a step of performing sintering; a step of forming an aluminum nitride sintered substrate by performing gradual cooling; and a step of printing a conductive wiring pattern with active metal paste on the aluminum nitride sintered substrate.
Production method of nitride ceramics active metal brazing substrate
질화물 세라믹스 활성금속 브레이징 기판의 제조방법
2020-07-30
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
| European Patent Office | 2020
Brazing of Silicon Nitride Ceramics
| British Library Online Contents | 1994
Low-temperature active brazing filler metal and method for brazing silicon carbide ceramics
| European Patent Office | 2021
| European Patent Office | 2016