Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Structure of clean room
본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.
Structure of clean room
본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.
Structure of clean room
클린룸 구조
26.04.2021
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
CLEAN ROOM STRUCTURE AND CLEAN ROOM CONSTRUCTION METHOD
| Europäisches Patentamt | 2015