A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
Structure of clean room
본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.
Structure of clean room
본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.
Structure of clean room
클린룸 구조
2021-04-26
Patent
Electronic Resource
Korean