Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Manufacturing Method Edge Ring of Electrostatic Chuck and Electrostatic Chuck Comprising Same
본 발명의 에지링 제조방법에 따르면, 핫프레스 공법을 사용하여 링 형상의 성형몰드 내에 세라믹 분말을 장입한 후, 가압 소결하여 제조되기 때문에, 웨이퍼 외경에 맞춰 대구경 또는 소구경으로 링 형상의 에지링을 저렴하면서도 쉽고 용이하게 제작할 수 있다.
Manufacturing Method Edge Ring of Electrostatic Chuck and Electrostatic Chuck Comprising Same
본 발명의 에지링 제조방법에 따르면, 핫프레스 공법을 사용하여 링 형상의 성형몰드 내에 세라믹 분말을 장입한 후, 가압 소결하여 제조되기 때문에, 웨이퍼 외경에 맞춰 대구경 또는 소구경으로 링 형상의 에지링을 저렴하면서도 쉽고 용이하게 제작할 수 있다.
Manufacturing Method Edge Ring of Electrostatic Chuck and Electrostatic Chuck Comprising Same
정전척의 에지링 제조방법 및 이로부터 제조된 에지링을 포함하는 정전척
LEE MIN WO (Autor:in) / YOON JOO YOUNG (Autor:in) / CHOI JUNE BEOM (Autor:in)
18.01.2022
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
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