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Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
본 발명은 알루미나 또는 알루미나 수화물 분말과, 카본 분말을 배합하여 다공성 카본 도가니에 장입하는 단계; 및 상기 다공성 카본 도가니에 질소 가스를 흘려주어, 장입된 분말의 공극과 다공성 카본 도가니의 기공으로 질소 가스를 침투시키면서 1600 내지 2000℃의 온도를 5 내지 20 시간 유지하여, 알루미나 또는 알루미나 수화물을 탄소로 환원시키고 질화시키는 단계를 포함하는, 질화알루미늄의 제조방법을 제공한다.
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
본 발명은 알루미나 또는 알루미나 수화물 분말과, 카본 분말을 배합하여 다공성 카본 도가니에 장입하는 단계; 및 상기 다공성 카본 도가니에 질소 가스를 흘려주어, 장입된 분말의 공극과 다공성 카본 도가니의 기공으로 질소 가스를 침투시키면서 1600 내지 2000℃의 온도를 5 내지 20 시간 유지하여, 알루미나 또는 알루미나 수화물을 탄소로 환원시키고 질화시키는 단계를 포함하는, 질화알루미늄의 제조방법을 제공한다.
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
다공성 카본도가니를 활용한 질화알루미늄의 제조방법
24.03.2022
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
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