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Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
본 발명은 알루미나 또는 알루미나 수화물 분말과, 카본 분말을 배합하여 다공성 카본 도가니에 장입하는 단계; 및 상기 다공성 카본 도가니에 질소 가스를 흘려주어, 장입된 분말의 공극과 다공성 카본 도가니의 기공으로 질소 가스를 침투시키면서 1600 내지 2000℃의 온도를 5 내지 20 시간 유지하여, 알루미나 또는 알루미나 수화물을 탄소로 환원시키고 질화시키는 단계를 포함하는, 질화알루미늄의 제조방법을 제공한다.
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
본 발명은 알루미나 또는 알루미나 수화물 분말과, 카본 분말을 배합하여 다공성 카본 도가니에 장입하는 단계; 및 상기 다공성 카본 도가니에 질소 가스를 흘려주어, 장입된 분말의 공극과 다공성 카본 도가니의 기공으로 질소 가스를 침투시키면서 1600 내지 2000℃의 온도를 5 내지 20 시간 유지하여, 알루미나 또는 알루미나 수화물을 탄소로 환원시키고 질화시키는 단계를 포함하는, 질화알루미늄의 제조방법을 제공한다.
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
다공성 카본도가니를 활용한 질화알루미늄의 제조방법
2022-03-24
Patent
Electronic Resource
Korean
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