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MgF2 added Y2O3 ceramics and the manufacturing method of the same
본 발명에서는 이트리아 소결체를 제조함에 있어서, 소결전 이트리아 분말 내에, 불화마그네슘이 소결조제로 첨가된 고밀도의 내플라즈마 특성이 향상된 이트리아 소결체를 개시한다. 이트리아의 소결시 불화마그네슘을 소결조제로 첨가함으로써 이트리아 소결체의 내플라즈마 특성을 향상시킬 수 있고, 이로부터 이트리아 소결체로부터의 발진량이 줄어들고 내식성이 향상될 수 있도록 하는 효과를 기대할 수 있다.
In manufacturing a yttria sintered body in accordance of the present invention, disclosed is a high-density yttria sintered body with an improved plasma characteristic for which a magnesium fluoride is added as a sintering aid, in a yttria powder before sintering. By adding the magnesium fluoride as a sintering aid when the yttria is sintered, the plasma characteristic of the yttria sintered body is enabled to be improved, thereby expecting to have an effect of reducing a rash amount from the yttria sintered body and improving a corrosion resistance.
MgF2 added Y2O3 ceramics and the manufacturing method of the same
본 발명에서는 이트리아 소결체를 제조함에 있어서, 소결전 이트리아 분말 내에, 불화마그네슘이 소결조제로 첨가된 고밀도의 내플라즈마 특성이 향상된 이트리아 소결체를 개시한다. 이트리아의 소결시 불화마그네슘을 소결조제로 첨가함으로써 이트리아 소결체의 내플라즈마 특성을 향상시킬 수 있고, 이로부터 이트리아 소결체로부터의 발진량이 줄어들고 내식성이 향상될 수 있도록 하는 효과를 기대할 수 있다.
In manufacturing a yttria sintered body in accordance of the present invention, disclosed is a high-density yttria sintered body with an improved plasma characteristic for which a magnesium fluoride is added as a sintering aid, in a yttria powder before sintering. By adding the magnesium fluoride as a sintering aid when the yttria is sintered, the plasma characteristic of the yttria sintered body is enabled to be improved, thereby expecting to have an effect of reducing a rash amount from the yttria sintered body and improving a corrosion resistance.
MgF2 added Y2O3 ceramics and the manufacturing method of the same
불화 마그네슘이 첨가된 이트리아 세라믹스 및 그 제조방법
03.11.2023
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
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