Low temperature sintered Y2O3 ceramics and the manufacturing method of the same: Fid-Bau Portal

Low temperature sintered Y2O3 ceramics and the manufacturing method of the same

본 발명에서는 이트리아 소결체를 제조함에 있어서, 소결전 이트리아 분말 내에, 불화칼슘이 소결조제로 첨가된 고밀도의 내플라즈마 특성이 향상된 이트리아 소결체를 개시한다. 이트리아의 소결시 불화칼슘을 소결조제로 첨가함으로써 1300℃ 정도의 현저히 낮은 온도에서 이트리아 소결체의 치밀화와 내플라즈마 특성을 향상시킬 수 있고, 이로부터 이트리아 소결체로부터의 발진량이 줄어들고 내식성이 향상될 수 있도록 하는 효과를 기대할 수 있다.

In the present invention, in manufacturing an yttria sintered body, disclosed is a high-density yttria sintered body with improved plasma resistant characteristics for which calcium fluoride is added as a sintering aid, in yttria powder before sintering. By adding calcium fluoride as a sintering aid when yttria is sintered, it is possible to expect that the present invention has an effect of improving densification and plasma resistant characteristics of the yttria sintered body at a remarkably low temperature of approximately 1,300 ℃ and through thereof, the amount of dust from the yttria sintered body is reduced and corrosion resistance improved.

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