Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process and manufacturing apparatus of the yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process
The present invention relates to an yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process and a manufacturing device for the yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process. The disclosed yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process comprises: an alumina ceramic layer; an yttria layer; and a bonding layer. The alumina ceramic layer and the yttria layer are firmly bonded by the bonding layer so that recoating is not required. In addition, the plasma resistance is excellent, and the manufacturing cost can also be reduced.
본 발명은 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우 및 상기 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우의 제조 장치에 관한 것이다. 개시되는 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우가 알루미나 세라믹층과, 이트리아층 및 접합층을 포함함에 따라, 상기 접합층에 의해 상기 알루미나 세라믹층과 상기 이트리아층이 견고하게 접합된 상태를 유지하여 재코팅이 요구되지 않고, 내플라즈마성이 우수함은 물론 제조 단가도 절감시킬 수 있게 되는 장점이 있다.
Yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process and manufacturing apparatus of the yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process
The present invention relates to an yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process and a manufacturing device for the yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process. The disclosed yttria alumina ceramic bonded window for a semiconductor etching process comprises: an alumina ceramic layer; an yttria layer; and a bonding layer. The alumina ceramic layer and the yttria layer are firmly bonded by the bonding layer so that recoating is not required. In addition, the plasma resistance is excellent, and the manufacturing cost can also be reduced.
본 발명은 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우 및 상기 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우의 제조 장치에 관한 것이다. 개시되는 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우가 알루미나 세라믹층과, 이트리아층 및 접합층을 포함함에 따라, 상기 접합층에 의해 상기 알루미나 세라믹층과 상기 이트리아층이 견고하게 접합된 상태를 유지하여 재코팅이 요구되지 않고, 내플라즈마성이 우수함은 물론 제조 단가도 절감시킬 수 있게 되는 장점이 있다.
Yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process and manufacturing apparatus of the yttria alumina ceramic bonding type window for semiconductor etching process
반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우 및 상기 반도체 식각공정용 이트리아 알루미나 세라믹 접합형 윈도우의 제조 장치
YOON JEONG MIN (Autor:in) / KO SANG KI (Autor:in) / SON TAE GYEOM (Autor:in) / CHOI A REUM (Autor:in)
10.11.2023
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
F27B
Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen, Retorten allgemein
,
FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL
/
F27D
Einzelheiten oder Zubehör für Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen oder Retorten, soweit sie nicht auf eine Ofenart eingeschränkt sind
,
DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
/
H01J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
,
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
| Europäisches Patentamt | 2024
Evaluation of processing methods for a calcia-yttria-alumina-silica glass-ceramic
| British Library Online Contents | 1993
| Europäisches Patentamt | 2024
| British Library Online Contents | 2011
| British Library Online Contents | 1993