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LTCC A WORK TABLE FOR MANUFACTURING LTCC ELEMENTS
LTCC그린시트를 고정하기 위한 고정판;을 포함하는 LTCC소자 제조용 작업대로서, 상기 작업대의 내측에는 내측기실이 형성되어, 진공배기부를 통해 연결된 진공펌프가 구동되면 상기 내측기실에 음압이 형성되며, 상기 고정판은 상기 내측기실의 상측을 덮도록 설치되며, 상기 고정판은, 다공성 세라믹 재질로 이루어진 흡착반; 상기 흡착반을 내부에 수용하며, 상기 고정판의 외관을 형성하는 하우징;을 포함하며, 상기 하우징의 중앙부에는 개구가 형성되어 이를 통해 상기 흡착반이 노출되고, 상기 하우징 표면의 상기 개구 바깥쪽에는 상기 흡착반을 둘러싸도록 흡기공들이 배치되고 상기 흡기공의 직경이 상기 흡착반의 표면에 형성되는 미세구멍들보다 크도록 형성되며, 상기 흡기공과 상기 흡착반은 상기 내측기실과 연통되어 상기 내측기실에 음압이 걸리면 상기 흡기공과 상기 흡착반에도 흡입력이 작용되며, LTCC그린시트의 중앙부는 상기 흡착반에 대응되도록 위치하고, 바깥쪽은 상기 흡기공에 대응되도록 위치한 상태에서 상기 진공펌프가 구동되면, 상기 LTCC그린시트의 바깥쪽에 중앙부보다 더 강한 흡입력이 작용되는 상태로 상기 LTCC그린시트가 고정될 수 있다.
LTCC A WORK TABLE FOR MANUFACTURING LTCC ELEMENTS
LTCC그린시트를 고정하기 위한 고정판;을 포함하는 LTCC소자 제조용 작업대로서, 상기 작업대의 내측에는 내측기실이 형성되어, 진공배기부를 통해 연결된 진공펌프가 구동되면 상기 내측기실에 음압이 형성되며, 상기 고정판은 상기 내측기실의 상측을 덮도록 설치되며, 상기 고정판은, 다공성 세라믹 재질로 이루어진 흡착반; 상기 흡착반을 내부에 수용하며, 상기 고정판의 외관을 형성하는 하우징;을 포함하며, 상기 하우징의 중앙부에는 개구가 형성되어 이를 통해 상기 흡착반이 노출되고, 상기 하우징 표면의 상기 개구 바깥쪽에는 상기 흡착반을 둘러싸도록 흡기공들이 배치되고 상기 흡기공의 직경이 상기 흡착반의 표면에 형성되는 미세구멍들보다 크도록 형성되며, 상기 흡기공과 상기 흡착반은 상기 내측기실과 연통되어 상기 내측기실에 음압이 걸리면 상기 흡기공과 상기 흡착반에도 흡입력이 작용되며, LTCC그린시트의 중앙부는 상기 흡착반에 대응되도록 위치하고, 바깥쪽은 상기 흡기공에 대응되도록 위치한 상태에서 상기 진공펌프가 구동되면, 상기 LTCC그린시트의 바깥쪽에 중앙부보다 더 강한 흡입력이 작용되는 상태로 상기 LTCC그린시트가 고정될 수 있다.
LTCC A WORK TABLE FOR MANUFACTURING LTCC ELEMENTS
LTCC소자 제조용 작업대
CHO HAKRAE (Autor:in) / SEO SOODUK (Autor:in) / JUNG CHANSIK (Autor:in) / CHO HYENCHUL (Autor:in)
03.01.2025
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
LTCC LTCC heterojunction module embedded ferrite layer and Its manufacturing method
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