CERIA SLURRY ADDITIVE COMPOSITION AND SLURRY COMPOSITION COMPRISING THE SAME: Fid-Bau Portal

CERIA SLURRY ADDITIVE COMPOSITION AND SLURRY COMPOSITION COMPRISING THE SAME

KIM SUN KYOUNG / CHOI NAK HYUN / KIM JUNG YOON

The present invention relates to a ceria slurry additive composition, and to a slurry composition comprising the same. According to a first aspect of the present invention, the ceria slurry additive composition comprises: a first polymer having at least one carboxylic group; and a copolymer-type second polymer having at least one carboxyl group and at least one functional group. According to a second aspect of the present invention, the ceria slurry additive composition comprises: a first polymer having a molecular weight greater than or equal to 10,000; and a second polymer having the molecular weight less than or equal to 10,000. The ceria slurry additive composition has effects in increasing a step removal rate.

본 발명은 세리아 슬러리 첨가제 조성물 및 이를 포함하는 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 제1 측면에 따른 세리아 슬러리 첨가제 조성물은 1개 이상의 카르복실기를 갖는 제1 고분자; 및 1개 이상의 카르복실기와 1개 이상의 작용기를 갖는 공중합체 형태의 제2 고분자;를 포함한다. 본 발명의 제 2측면에 따른 세리아 슬러리 첨가제 조성물은 분자량이 10,000 이상인 제1 고분자; 및 분자량이 10,000 이하인 제2 고분자를 포함한다.

Zugriff

Download

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren