Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
세라믹 구조체(10)는, 원반형의 세라믹 기체(12)의 내부에 전극(14)을 내장한 것이다. 세라믹 기체(12)는, 주성분이 알루미나 또는 희토류 금속 산화물의 소결체이며, 열팽창계수는 40∼1200℃에서 7.5∼9.5 ppm/K이다. 전극(14)은, 주성분이 금속 루테늄이다. 전극(14)은, 시트형으로 형성되어 있어도 좋고, 면전체에 퍼지도록 단숨에 그리는 요령으로 패턴 형성되어 있어도 좋다.
The ceramic structure 10 includes a discoid ceramic base 12 and an electrode 14 buried in the ceramic base 12. The ceramic base 12 is a sintered body composed principally of alumina or a rare-earth metal oxide and has a thermal expansion coefficient of 7.5 to 9.5 ppm/K over the range of 40° C. to 1200° C. The electrode 14 is composed principally of metal ruthenium. The electrode 14 may be formed in the shape of a sheet. Alternatively, the electrode 14 may be patterned in the manner of a one-stroke sketch so as to extend over the entire cross section of the ceramic base 12.
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
세라믹 구조체(10)는, 원반형의 세라믹 기체(12)의 내부에 전극(14)을 내장한 것이다. 세라믹 기체(12)는, 주성분이 알루미나 또는 희토류 금속 산화물의 소결체이며, 열팽창계수는 40∼1200℃에서 7.5∼9.5 ppm/K이다. 전극(14)은, 주성분이 금속 루테늄이다. 전극(14)은, 시트형으로 형성되어 있어도 좋고, 면전체에 퍼지도록 단숨에 그리는 요령으로 패턴 형성되어 있어도 좋다.
The ceramic structure 10 includes a discoid ceramic base 12 and an electrode 14 buried in the ceramic base 12. The ceramic base 12 is a sintered body composed principally of alumina or a rare-earth metal oxide and has a thermal expansion coefficient of 7.5 to 9.5 ppm/K over the range of 40° C. to 1200° C. The electrode 14 is composed principally of metal ruthenium. The electrode 14 may be formed in the shape of a sheet. Alternatively, the electrode 14 may be patterned in the manner of a one-stroke sketch so as to extend over the entire cross section of the ceramic base 12.
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
세라믹 구조체, 기판 유지 장치용 부재 및 세라믹 구조체의 제법
KATSUDA YUJI (Autor:in) / NISHIMURA NOBORU (Autor:in)
03.04.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
Europäisches Patentamt | 2019
| Europäisches Patentamt | 2016
| Europäisches Patentamt | 2017
| Europäisches Patentamt | 2021
CERAMIC MEMBER, HOLDING DEVICE, AND METHOD OF PRODUCING CERAMIC MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2022