Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC STRUCTURE, MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
A ceramic structure 10 in which an electrode 14 is provided inside a disc-shaped ceramic base 12. The ceramic base 12 is a sintered body having, as the main component, alumina or a rare earth metal oxide. The ceramic base 12 has a thermal expansion coefficient of 7.5-9.5 ppm/K at 40-1200°C. The main component of the electrode 14 is metal ruthenium. The electrode 14 may be formed to a sheet shape, or may be formed in a single-stroke pattern so as to spread throughout the entire surface.
L'invention concerne une structure en céramique (10) dotée d'une électrode (14) qui est disposée à l'intérieur d'une base en céramique (12) en forme de disque. La base en céramique (12) est un corps fritté ayant, comme composant principal, de l'alumine ou un oxyde métallique de terres rares. La base en céramique (12) a un coefficient de dilatation thermique de 7,5 à 9,5 ppm/K à une température de 40 à 1 200 °C. Le composant principal de l'électrode (14) est un ruthénium de métal. L'électrode (14) peut être formée de manière à présenter une forme de feuille, ou peut être formée suivant un motif à course unique de façon à s'étaler sur toute la surface.
セラミック構造体１０は、円盤状のセラミック基体１２の内部に電極１４を内蔵したものである。セラミック基体１２は、主成分がアルミナ又は希土類金属酸化物の焼結体であり、熱膨張係数は４０～１２００℃で７．５～９．５ｐｐｍ／Ｋである。電極１４は、主成分が金属ルテニウムである。電極１４は、シート状に形成されていてもよいし、面全体に広がるように一筆書きの要領でパターン形成されていてもよい。
CERAMIC STRUCTURE, MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
A ceramic structure 10 in which an electrode 14 is provided inside a disc-shaped ceramic base 12. The ceramic base 12 is a sintered body having, as the main component, alumina or a rare earth metal oxide. The ceramic base 12 has a thermal expansion coefficient of 7.5-9.5 ppm/K at 40-1200°C. The main component of the electrode 14 is metal ruthenium. The electrode 14 may be formed to a sheet shape, or may be formed in a single-stroke pattern so as to spread throughout the entire surface.
L'invention concerne une structure en céramique (10) dotée d'une électrode (14) qui est disposée à l'intérieur d'une base en céramique (12) en forme de disque. La base en céramique (12) est un corps fritté ayant, comme composant principal, de l'alumine ou un oxyde métallique de terres rares. La base en céramique (12) a un coefficient de dilatation thermique de 7,5 à 9,5 ppm/K à une température de 40 à 1 200 °C. Le composant principal de l'électrode (14) est un ruthénium de métal. L'électrode (14) peut être formée de manière à présenter une forme de feuille, ou peut être formée suivant un motif à course unique de façon à s'étaler sur toute la surface.
セラミック構造体１０は、円盤状のセラミック基体１２の内部に電極１４を内蔵したものである。セラミック基体１２は、主成分がアルミナ又は希土類金属酸化物の焼結体であり、熱膨張係数は４０～１２００℃で７．５～９．５ｐｐｍ／Ｋである。電極１４は、主成分が金属ルテニウムである。電極１４は、シート状に形成されていてもよいし、面全体に広がるように一筆書きの要領でパターン形成されていてもよい。
CERAMIC STRUCTURE, MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
STRUCTURE EN CÉRAMIQUE, ÉLÉMENT POUR DISPOSITIF DE SUPPORT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE EN CÉRAMIQUE
セラミック構造体、基板保持装置用部材及びセラミック構造体の製法
KATSUDA YUJI (Autor:in) / NISHIMURA NOBORU (Autor:in)
24.03.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
Europäisches Patentamt | 2019
CERAMIC STRUCTURE MEMBER FOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC STRUCTURE
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CERAMIC MEMBER, HOLDING DEVICE, AND METHOD OF PRODUCING CERAMIC MEMBER
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