Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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본 발명은 기계적 강도가 높고, 상대 밀도가 높으며, 벌크 저항값이 작고, 또한 조성이 균일한 산화물 소결체로서, In, Ga 및 Zn을 포함하는 산화물 소결체이며, L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 35 이하인 산화물 소결체를 제공한다.
본 발명은 기계적 강도가 높고, 상대 밀도가 높으며, 벌크 저항값이 작고, 또한 조성이 균일한 산화물 소결체로서, In, Ga 및 Zn을 포함하는 산화물 소결체이며, L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 35 이하인 산화물 소결체를 제공한다.
SINTERED OXIDE
산화물 소결체
NAKATA KUNIHIKO (Autor:in)
10.04.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
Europäisches Patentamt | 2018
MANUFACTURING METHOD OF OXIDE SINTERED BODY AND OXIDE SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2017