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본 발명은 기계적 강도가 높고, 상대 밀도가 높으며, 벌크 저항값이 작고, 또한 조성이 균일한 산화물 소결체로서, In, Ga 및 Zn을 포함하는 산화물 소결체이며, L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 35 이하인 산화물 소결체를 제공한다.
본 발명은 기계적 강도가 높고, 상대 밀도가 높으며, 벌크 저항값이 작고, 또한 조성이 균일한 산화물 소결체로서, In, Ga 및 Zn을 포함하는 산화물 소결체이며, L*a*b* 표색계에 있어서의 L*가 35 이하인 산화물 소결체를 제공한다.
SINTERED OXIDE
산화물 소결체
NAKATA KUNIHIKO (author)
2017-04-10
Patent
Electronic Resource
Korean
OXIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2023
|OXIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2021
|OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2017
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