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RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
고체의 소결된 세라믹 물품은 대략 30 molar% 내지 대략 60 molar% 농도의 YO, 대략 20 molar% 내지 대략 60 molar% 농도의 ErO, 및 대략 0 molar% 내지 대략 30 molar% 농도의 ZrO, GdO또는 SiO중 적어도 하나를 포함하는 고용체를 포함할 수 있다. 대안적으로, 고체의 소결된 세라믹 물품은 40 내지 100 mol%의 YO, 0 내지 50 mol%의 ZrO, 및 0 내지 40 mol%의 AlO을 포함하는 고용체를 포함한다.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
고체의 소결된 세라믹 물품은 대략 30 molar% 내지 대략 60 molar% 농도의 YO, 대략 20 molar% 내지 대략 60 molar% 농도의 ErO, 및 대략 0 molar% 내지 대략 30 molar% 농도의 ZrO, GdO또는 SiO중 적어도 하나를 포함하는 고용체를 포함할 수 있다. 대안적으로, 고체의 소결된 세라믹 물품은 40 내지 100 mol%의 YO, 0 내지 50 mol%의 ZrO, 및 0 내지 40 mol%의 AlO을 포함하는 고용체를 포함한다.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
희토류 옥사이드 기반 모놀리식 챔버 재료
SUN JENNIFER Y (Autor:in) / KANUNGO BIRAJA P (Autor:in)
12.09.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch