Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Safety plate of clean room for manufacturing semiconductor and clean room using the same
The present invention relates to a safety plate of a semiconductor-manufacturing clean room, which is installed for the safety of a work during a facility work in a clean room where a semiconductor is manufactured, and to a semiconductor-manufacturing clean room installed with a safety plate. The safety plate installed in a semiconductor-manufacturing clean room in which a plurality of pillars are erected in a vertical direction and a plurality of horizontal beams for connecting a gap between adjacent pillars in horizontal and vertical directions, comprises: a corner part for surrounding pillars; a side part placed in a longitudinal direction of horizontal beams; and a plurality of through holes formed inside a safety plate to allow air to pass therethrough. The semiconductor-manufacturing clean room, which is a semiconductor-manufacturing clean room where the safety plate is installed, is divided into a plurality of layers by the horizontal beams installed in the pillars in a horizontal direction, wherein an air passing area of the safety plate installed in each of the layers is installed to be reduced at a predetermined ratio in accordance with an air flow direction. Accordingly, a safety of a worker is ensured during a facility work in a semiconductor-manufacturing clean room, and a defect of a semiconductor product due to contaminants is prevented.
본 발명은 반도체를 제조하는 크린룸에서 설비 작업시 작업자의 안전을 위해 설치되는 반도체 제조 크린룸의 안전 플레이트 및 이 안전 플레이트가 설치된 반도제 제조 크린룸에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체 제조 크린룸의 안전 플레이트는 복수의 기둥이 수직방향으로 세워지고, 인접하는 각 기둥 사이를 가로 세로방향으로 연결하는 복수의 수평보가 설치된 반도체 제조 크린룸에 설치되는 안전 플레이트로서, 기둥을 감싸는 모서리부과, 수평보의 길이방향을 따라 걸쳐지는 변부와, 안전 플레이트의 내부에 형성되어 공기가 통하는 복수의 관통구멍을 포함한다. 반도체 제조 크린룸은 안전 플레이트가 설치된 반도체 제조 크린룸으로서, 기둥에 수평방향으로 설치되는 수평보에 의해 복수의 층으로 나누어지고, 각 층에 설치되는 안전 플레이트의 공기 통과면적은 공기의 흐름방향을 따라 일정비율로 감소하게 설치된다. 이러한 구성에 의하면, 반도체를 제조하는 크린룸에서 설비 작업시 작업자의 안전을 방지하고 오염물질에 의한 반도체 제품의 불량을 방지하는 효과가 있다.
Safety plate of clean room for manufacturing semiconductor and clean room using the same
The present invention relates to a safety plate of a semiconductor-manufacturing clean room, which is installed for the safety of a work during a facility work in a clean room where a semiconductor is manufactured, and to a semiconductor-manufacturing clean room installed with a safety plate. The safety plate installed in a semiconductor-manufacturing clean room in which a plurality of pillars are erected in a vertical direction and a plurality of horizontal beams for connecting a gap between adjacent pillars in horizontal and vertical directions, comprises: a corner part for surrounding pillars; a side part placed in a longitudinal direction of horizontal beams; and a plurality of through holes formed inside a safety plate to allow air to pass therethrough. The semiconductor-manufacturing clean room, which is a semiconductor-manufacturing clean room where the safety plate is installed, is divided into a plurality of layers by the horizontal beams installed in the pillars in a horizontal direction, wherein an air passing area of the safety plate installed in each of the layers is installed to be reduced at a predetermined ratio in accordance with an air flow direction. Accordingly, a safety of a worker is ensured during a facility work in a semiconductor-manufacturing clean room, and a defect of a semiconductor product due to contaminants is prevented.
본 발명은 반도체를 제조하는 크린룸에서 설비 작업시 작업자의 안전을 위해 설치되는 반도체 제조 크린룸의 안전 플레이트 및 이 안전 플레이트가 설치된 반도제 제조 크린룸에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체 제조 크린룸의 안전 플레이트는 복수의 기둥이 수직방향으로 세워지고, 인접하는 각 기둥 사이를 가로 세로방향으로 연결하는 복수의 수평보가 설치된 반도체 제조 크린룸에 설치되는 안전 플레이트로서, 기둥을 감싸는 모서리부과, 수평보의 길이방향을 따라 걸쳐지는 변부와, 안전 플레이트의 내부에 형성되어 공기가 통하는 복수의 관통구멍을 포함한다. 반도체 제조 크린룸은 안전 플레이트가 설치된 반도체 제조 크린룸으로서, 기둥에 수평방향으로 설치되는 수평보에 의해 복수의 층으로 나누어지고, 각 층에 설치되는 안전 플레이트의 공기 통과면적은 공기의 흐름방향을 따라 일정비율로 감소하게 설치된다. 이러한 구성에 의하면, 반도체를 제조하는 크린룸에서 설비 작업시 작업자의 안전을 방지하고 오염물질에 의한 반도체 제품의 불량을 방지하는 효과가 있다.
Safety plate of clean room for manufacturing semiconductor and clean room using the same
반도체 제조 크린룸의 안전 플레이트 및 이 안전 플레이트가 설치된 반도체 제조 크린룸
JUN SU BAE (Autor:in) / JANG CHANG HO (Autor:in)
16.10.2018
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Safety plate of clean room for manufacturing semiconductor and clean room using the same
Europäisches Patentamt | 2019
Clean room for semiconductor manufacturing and semiconductor manufacturing factory
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