Method for removal of binder and impurity from Boron Nitride product: Fid-Bau Portal

Method for removal of binder and impurity from Boron Nitride product

LIM JUNG YOUN

The present invention relates to a method for removing a binder and impurities in a boron nitride product. More specifically, the present invention relates to a method for removing a binder and impurities, which removes a binder and impurities in a boron nitride product used as various parts in a deposition chamber to prevent the binder and the impurities from being vaporized in the boron nitride product during a deposition process and contaminating the inside of the deposition chamber and deposition products.

본 발명은 질화 붕소 제품 내의 바인더와 불순물을 제거하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 증착 챔버 내에서 각종 부품으로 사용되는 질화 붕소 제품 내의 바인더와 불순물을 제거하여 증착 공정 중에 질화 붕소 제품에서 바인더와 불순물이 기화되어 증착 챔버 내부나 증착 제품을 오염시키는 것을 방지할 수 있는 바인더와 불순물을 제거하는 방법에 관한 것이다.

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