Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Rare-earth oxide based chamber material
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 80-90 mol % of Y2O3, over 0 mol % to 20 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3.
Rare-earth oxide based chamber material
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 80-90 mol % of Y2O3, over 0 mol % to 20 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3.
Rare-earth oxide based chamber material
SUN JENNIFER Y (Autor:in) / KANUNGO BIRAJA P (Autor:in)
10.03.2020
Patent
Elektronische Ressource
Englisch