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    POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITANCE ELEMENT

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    A polycrystalline dielectric thin film including a main component made of an oxynitride expressed by a general formula of (M(1)1-xM(2)x)(M(3)1-yM(4)y)(O1-zNz)3. 0≤x≤1, 0≤y≤1, and 0

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    Titel:

    POLYCRYSTALLINE DIELECTRIC THIN FILM AND CAPACITANCE ELEMENT

    Beteiligte:

    UMEDA YUJI (Autor:in) / YAMAZAKI KUMIKO (Autor:in)

    Erscheinungsdatum:

    04.10.2018

    Medientyp:

    Patent

    Format:

    Elektronische Ressource

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    IPC:  H01G Kondensatoren , CAPACITORS / C04B Kalk , LIME / H10N

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