Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER AND HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER STRUCTURE USING SAME
The present invention relates to a RC lattice girder capable of specifically and greatly damping vibration transmission, and the objective of the present invention is to provide a high-damping RC lattice girder formed from a polymer concrete by adding a polymer to concrete forming the RC lattice girder, so as to effectively dampen a micro vibration affecting exposure equipment while maintaining the depth, as is, of a conventional lattice girder, thereby reducing a defect rate such that the productivity of semiconductors can be improved, and thus the performance of the precise exposure equipment is maximized.
La présente invention concerne une poutre en treillis RC capable d'amortir spécifiquement et fortement la transmission de vibrations, et l'objectif de la présente invention est de proposer une poutre en treillis RC à haut amortissement formée à partir d'un béton polymère en ajoutant un polymère au béton qui forme la poutre en treillis RC, de manière à amortir efficacement une micro-vibration qui affecte un équipement d'exposition tout en maintenant la profondeur, telle qu'elle est, d'une poutre en treillis classique, réduisant ainsi un taux de défauts de telle sorte que la productivité de semi-conducteurs puisse être améliorée, et ainsi les performances de l'équipement d'exposition précis soit maximisées.
본 발명은 특히 진동 전달이 대폭 감쇠될 수 있는 RC 격자보에 관한 것으로서, RC 격자보를 이루는 콘크리트가 폴리머가 첨가된 폴리머콘크리트로 이루어짐으로써, 종래의 격자보의 춤을 그대로 유지하면서도 노광장비에 미치는 미세진동을 효과적으로 감쇄시킬 수 있어, 불량률을 감소시킴으로써 반도체 생산성을 향상시킬 수 있게 되어 정밀한 노광장비의 성능을 극대화시키는 고감쇠 RC 격자보를 제공하고자 한다.
HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER AND HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER STRUCTURE USING SAME
The present invention relates to a RC lattice girder capable of specifically and greatly damping vibration transmission, and the objective of the present invention is to provide a high-damping RC lattice girder formed from a polymer concrete by adding a polymer to concrete forming the RC lattice girder, so as to effectively dampen a micro vibration affecting exposure equipment while maintaining the depth, as is, of a conventional lattice girder, thereby reducing a defect rate such that the productivity of semiconductors can be improved, and thus the performance of the precise exposure equipment is maximized.
La présente invention concerne une poutre en treillis RC capable d'amortir spécifiquement et fortement la transmission de vibrations, et l'objectif de la présente invention est de proposer une poutre en treillis RC à haut amortissement formée à partir d'un béton polymère en ajoutant un polymère au béton qui forme la poutre en treillis RC, de manière à amortir efficacement une micro-vibration qui affecte un équipement d'exposition tout en maintenant la profondeur, telle qu'elle est, d'une poutre en treillis classique, réduisant ainsi un taux de défauts de telle sorte que la productivité de semi-conducteurs puisse être améliorée, et ainsi les performances de l'équipement d'exposition précis soit maximisées.
본 발명은 특히 진동 전달이 대폭 감쇠될 수 있는 RC 격자보에 관한 것으로서, RC 격자보를 이루는 콘크리트가 폴리머가 첨가된 폴리머콘크리트로 이루어짐으로써, 종래의 격자보의 춤을 그대로 유지하면서도 노광장비에 미치는 미세진동을 효과적으로 감쇄시킬 수 있어, 불량률을 감소시킴으로써 반도체 생산성을 향상시킬 수 있게 되어 정밀한 노광장비의 성능을 극대화시키는 고감쇠 RC 격자보를 제공하고자 한다.
HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER AND HIGH-DAMPING RC LATTICE GIRDER STRUCTURE USING SAME
POUTRE EN TREILLIS RC À HAUT AMORTISSEMENT ET STRUCTURE DE POUTRE EN TREILLIS RC À HAUT AMORTISSEMENT L'UTILISANT
고감쇠 RC 격자보 및 이를 이용한 고감쇠 RC 격자보 구조물
PARK CHAN KYU (Autor:in) / AHN SANG KYUNG (Autor:in) / KIM YONG KU (Autor:in) / NOH HYUN SUP (Autor:in) / LEE EUN SEOK (Autor:in) / LEW YOUNG KEE (Autor:in) / JEON BYONG KAP (Autor:in) / JUNG JAE EUN (Autor:in)
09.05.2019
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
E04B
Allgemeine Baukonstruktionen
,
GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS
Box girder internal liquid damping device with high adaptability and box girder
| Europäisches Patentamt | 2023
| Wiley | 2016