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A ceramic tube containing yttrium oxide as a main component, wherein the cut level difference (Rδc) in a roughness curve of an inner peripheral surface, which represents the difference between the cut level at a load length ratio of 25% in the roughness curve and the cut level at a load length ratio of 75% in the roughness curve, is 2 μm or less and the variation coefficient of the cut level difference (Rδc) is 0.05 to 0.6.
L'invention concerne un tube céramique contenant de l'oxyde d'yttrium en tant que composant principal, la différence de niveau de coupe (Rδc) dans une courbe de rugosité d'une surface périphérique interne, qui représente la différence entre le niveau de coupe à un rapport de longueur de charge de 25 % dans la courbe de rugosité et le niveau de coupe à un rapport de longueur de charge de 75 % dans la courbe de rugosité, est inférieure ou égale à 2 µm et le coefficient de variation de la différence de niveau de coupe (Rδc) est de 0,05 à 0,6.
酸化イットリウムを主成分とするセラミックチューブであって、内周面の粗さ曲線における25%の負荷長さ率での切断レベルと、粗さ曲線における75%の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、粗さ曲線における切断レベル差(Rδc)が2μm以下であって、切断レベル差(Rδc)の変動係数が0.05~0.6である。
A ceramic tube containing yttrium oxide as a main component, wherein the cut level difference (Rδc) in a roughness curve of an inner peripheral surface, which represents the difference between the cut level at a load length ratio of 25% in the roughness curve and the cut level at a load length ratio of 75% in the roughness curve, is 2 μm or less and the variation coefficient of the cut level difference (Rδc) is 0.05 to 0.6.
L'invention concerne un tube céramique contenant de l'oxyde d'yttrium en tant que composant principal, la différence de niveau de coupe (Rδc) dans une courbe de rugosité d'une surface périphérique interne, qui représente la différence entre le niveau de coupe à un rapport de longueur de charge de 25 % dans la courbe de rugosité et le niveau de coupe à un rapport de longueur de charge de 75 % dans la courbe de rugosité, est inférieure ou égale à 2 µm et le coefficient de variation de la différence de niveau de coupe (Rδc) est de 0,05 à 0,6.
酸化イットリウムを主成分とするセラミックチューブであって、内周面の粗さ曲線における25%の負荷長さ率での切断レベルと、粗さ曲線における75%の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、粗さ曲線における切断レベル差(Rδc)が2μm以下であって、切断レベル差(Rδc)の変動係数が0.05~0.6である。
CERAMIC TUBE
TUBE CÉRAMIQUE
セラミックチューブ
TANAKA MANPEI (Autor:in)
07.05.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
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