Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC SINTERED BODY AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
In this ceramic sintered body (3), the Zr content is 17.5-23.5 mass% in terms of ZrO2, the Hf content is 0.3-0.5 mass% in terms of HfO2, the Al content is 74.3-80.7 mass% in terms of Al2O3, the Y content is 0.8-1.9 mass% in terms of Y2O3, the Mg content is 0.1-0.8 mass% in terms of MgO, the Si content is 0.1-1.5 mass% in terms of SiO2, the Ca content is 0.03-0.35 mass% in terms of CaO, the total of the Na content and the K content is 0.01-0.10 mass% when the Na content is in terms of Na2O and the K content is in terms of K2O, and the balance content is 0.05 mass% or less in terms of oxides. The sum of the Mg content in terms of MgO, the Si content in terms of SiO2, the Ca content in terms of CaO, the Na content in terms of Na2O, the K content in terms of K2O, and the balance content is 0.3-2.0 mass%.
Dans ce corps fritté en céramique (3), la teneur en Zr est de 17,5 à 23,5 % en masse en termes de ZrO2, la teneur en Hf est de 0,3 à 0,5 % en masse en termes de HfO2, la teneur en Al est de 74,3 à 80,7 % en masse en termes d'Al2O3, la teneur en Y est de 0,8 à 1,9 % en masse en termes de Y2O3, la teneur en Mg est de 0,1 à 0,8 % en masse en termes de MgO, la teneur en Si est de 0,1 à 1,5 % en masse en termes de SiO2, la teneur en Ca est de 0,03 à 0,35 % en masse en termes de CaO, le total de la teneur en Na et de la teneur en K est de 0,01 à 0,10 % en masse lorsque la teneur en Na est exprimée en termes de Na2O et la teneur en K est exprimée en termes de K2O, tandis que le reste du contenu représente 0,05 % en masse ou moins en termes d'oxydes. La somme de la teneur en Mg en termes de MgO, de la teneur en Si en termes de SiO2, de la teneur en Ca en termes de CaO, de la teneur en Na en termes de Na2O, de la teneur en K en termes de K2O et du reste du contenu est de 0,3 à 2,0 % en masse.
セラミックス焼結体（３）において、Ｚｒの含有量は、ＺｒＯ２換算で、１７．５質量％以上２３．５質量％以下であり、Ｈｆの含有量は、ＨｆＯ２換算で、０．３質量％以上０．５質量％以下であり、Ａｌの含有量は、Ａｌ２Ｏ３換算で、７４．３質量％以上８０．７質量％以下であり、Ｙの含有量は、Ｙ２Ｏ３換算で、０．８質量％以上１．９質量％以下であり、Ｍｇの含有量は、ＭｇＯ換算で、０．１質量％以上０．８質量％以下であり、Ｓｉの含有量は、ＳｉＯ２換算で、０．１質量％以上１．５質量％以下であり、Ｃａの含有量は、ＣａＯ換算で、０．０３質量％以上０．３５質量％以下であり、Ｎａ及びＫの合計含有量は、Ｎａの含有量をＮａ２Ｏ換算とし、Ｋの含有量をＫ２Ｏ換算とした場合、０．０１質量％以上０．１０質量％以下であり、残部の含有量は、酸化物換算で、０．０５質量％以下である。ＭｇのＭｇＯ換算の含有量、ＳｉのＳｉＯ２換算の含有量、ＣａのＣａＯ換算の含有量、ＮａのＮａ２Ｏ換算の含有量、ＫのＫ２Ｏ換算の含有量、及び残部の含有量の和は、０．３質量％以上２．０質量％以下である。
CERAMIC SINTERED BODY AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
In this ceramic sintered body (3), the Zr content is 17.5-23.5 mass% in terms of ZrO2, the Hf content is 0.3-0.5 mass% in terms of HfO2, the Al content is 74.3-80.7 mass% in terms of Al2O3, the Y content is 0.8-1.9 mass% in terms of Y2O3, the Mg content is 0.1-0.8 mass% in terms of MgO, the Si content is 0.1-1.5 mass% in terms of SiO2, the Ca content is 0.03-0.35 mass% in terms of CaO, the total of the Na content and the K content is 0.01-0.10 mass% when the Na content is in terms of Na2O and the K content is in terms of K2O, and the balance content is 0.05 mass% or less in terms of oxides. The sum of the Mg content in terms of MgO, the Si content in terms of SiO2, the Ca content in terms of CaO, the Na content in terms of Na2O, the K content in terms of K2O, and the balance content is 0.3-2.0 mass%.
Dans ce corps fritté en céramique (3), la teneur en Zr est de 17,5 à 23,5 % en masse en termes de ZrO2, la teneur en Hf est de 0,3 à 0,5 % en masse en termes de HfO2, la teneur en Al est de 74,3 à 80,7 % en masse en termes d'Al2O3, la teneur en Y est de 0,8 à 1,9 % en masse en termes de Y2O3, la teneur en Mg est de 0,1 à 0,8 % en masse en termes de MgO, la teneur en Si est de 0,1 à 1,5 % en masse en termes de SiO2, la teneur en Ca est de 0,03 à 0,35 % en masse en termes de CaO, le total de la teneur en Na et de la teneur en K est de 0,01 à 0,10 % en masse lorsque la teneur en Na est exprimée en termes de Na2O et la teneur en K est exprimée en termes de K2O, tandis que le reste du contenu représente 0,05 % en masse ou moins en termes d'oxydes. La somme de la teneur en Mg en termes de MgO, de la teneur en Si en termes de SiO2, de la teneur en Ca en termes de CaO, de la teneur en Na en termes de Na2O, de la teneur en K en termes de K2O et du reste du contenu est de 0,3 à 2,0 % en masse.
セラミックス焼結体（３）において、Ｚｒの含有量は、ＺｒＯ２換算で、１７．５質量％以上２３．５質量％以下であり、Ｈｆの含有量は、ＨｆＯ２換算で、０．３質量％以上０．５質量％以下であり、Ａｌの含有量は、Ａｌ２Ｏ３換算で、７４．３質量％以上８０．７質量％以下であり、Ｙの含有量は、Ｙ２Ｏ３換算で、０．８質量％以上１．９質量％以下であり、Ｍｇの含有量は、ＭｇＯ換算で、０．１質量％以上０．８質量％以下であり、Ｓｉの含有量は、ＳｉＯ２換算で、０．１質量％以上１．５質量％以下であり、Ｃａの含有量は、ＣａＯ換算で、０．０３質量％以上０．３５質量％以下であり、Ｎａ及びＫの合計含有量は、Ｎａの含有量をＮａ２Ｏ換算とし、Ｋの含有量をＫ２Ｏ換算とした場合、０．０１質量％以上０．１０質量％以下であり、残部の含有量は、酸化物換算で、０．０５質量％以下である。ＭｇのＭｇＯ換算の含有量、ＳｉのＳｉＯ２換算の含有量、ＣａのＣａＯ換算の含有量、ＮａのＮａ２Ｏ換算の含有量、ＫのＫ２Ｏ換算の含有量、及び残部の含有量の和は、０．３質量％以上２．０質量％以下である。
CERAMIC SINTERED BODY AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
CORPS FRITTÉ EN CÉRAMIQUE ET SUBSTRAT POUR DISPOSITIF SEMICONDUCTEUR
セラミックス焼結体及び半導体装置用基板
UMEDA YUJI (Autor:in) / OOGAMI JYUNJI (Autor:in)
11.06.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
CERAMIC SINTERED BODY AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
| Europäisches Patentamt | 2022
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