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PROCEDE D'INFILTRATION OU DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
The present invention relates to a chemical vapour infiltration or deposition process, comprising at least: - the formation of pyrocarbon in the porosity of a porous substrate or on a surface of a substrate, wherein the substrate is placed in a reaction chamber and the pyrocarbon is formed from a gas phase introduced into the reaction chamber, this gas phase comprising at least pyrocarbon precursor compound and carbon dioxide.
La présente invention concerne un procédé d'infiltration ou de dépôt chimique en phase vapeur, comprenant au moins : - la formation de pyrocarbone dans la porosité d'un substrat poreux ou sur une surface d'un substrat, le substrat étant placé dans une enceinte réactionnelle et le pyrocarbone étant formé à partir d'une phase gazeuse introduite dans l'enceinte réactionnelle, cette phase gazeuse comprenant au moins composé précurseur de pyrocarbone et du dioxyde de carbone.
PROCEDE D'INFILTRATION OU DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
The present invention relates to a chemical vapour infiltration or deposition process, comprising at least: - the formation of pyrocarbon in the porosity of a porous substrate or on a surface of a substrate, wherein the substrate is placed in a reaction chamber and the pyrocarbon is formed from a gas phase introduced into the reaction chamber, this gas phase comprising at least pyrocarbon precursor compound and carbon dioxide.
La présente invention concerne un procédé d'infiltration ou de dépôt chimique en phase vapeur, comprenant au moins : - la formation de pyrocarbone dans la porosité d'un substrat poreux ou sur une surface d'un substrat, le substrat étant placé dans une enceinte réactionnelle et le pyrocarbone étant formé à partir d'une phase gazeuse introduite dans l'enceinte réactionnelle, cette phase gazeuse comprenant au moins composé précurseur de pyrocarbone et du dioxyde de carbone.
PROCEDE D'INFILTRATION OU DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
CHEMICAL VAPOUR INFILTRATION OR DEPOSITION PROCESS
POTIN JEAN-FRANÇOIS (Autor:in)
18.06.2020
Patent
Elektronische Ressource
Französisch
PROCEDE D'INFILTRATION OU DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
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