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TANTALUM CARBONATE-COATED GRAPHITE MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided are a tantalum carbonate-coated graphite member hard to peel in use in a high-temperature reducing atmosphere, and a method for producing same. The tantalum carbonate-coated graphite member according to the present invention comprises a graphite base material coated with a tantalum carbonate film, characterized in that a pyrolytic boron nitride film is formed between the graphite base material and the tantalum carbonate film. The method for producing the tantalum carbonate-coated graphite member is characterized in that a step of coating a graphite base material with a pyrolytic boron nitride film and a step of coating the graphite base material coated with the pyrolytic boron nitride film with a tantalum carbonate film are successively carried out in a single reactor.
La présente invention concerne un élément de graphite revêtu de carbonate de tantale difficile à décoller durant l'utilisation sous une atmosphère réductrice à haute température, et son procédé de production. L'élément de graphite revêtu de carbonate de tantale selon la présente invention comprend un matériau à base de graphite revêtu d'un film de carbonate de tantale, caractérisé en ce qu'un film de nitrure de bore pyrolytique est formé entre le matériau à base de graphite et le film de carbonate de tantale. Le procédé de production de l'élément de graphite revêtu de carbonate de tantale est caractérisé en ce qu'une étape de revêtement d'un matériau à base de graphite avec un film de nitrure de bore pyrolytique et qu'une étape de revêtement du matériau à base de graphite revêtu du film de nitrure de bore pyrolytique avec un film de carbonate de tantale sont successivement effectuées dans un réacteur unique.
高温還元性雰囲気下での使用で剥離しにくい炭化タンタル被覆グラファイト部材とその製造方法を提供する。本発明に係る炭化タンタル被覆グラファイト部材は、グラファイト基材を炭化タンタル膜で被覆した炭化タンタル被覆グラファイト部材であって、グラファイト基材と炭化タンタル膜との間に、熱分解窒化ホウ素膜が形成されていることを特徴とする。また、炭化タンタル被覆グラファイト部材の製造方法は、グラファイト基材上に、熱分解窒化ホウ素膜を被覆する工程と、熱分解窒化ホウ素膜が被覆されたグラファイト基材上に、炭化タンタル膜を被覆する工程が、同一の反応器内で連続的になされることを特徴とする。
TANTALUM CARBONATE-COATED GRAPHITE MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided are a tantalum carbonate-coated graphite member hard to peel in use in a high-temperature reducing atmosphere, and a method for producing same. The tantalum carbonate-coated graphite member according to the present invention comprises a graphite base material coated with a tantalum carbonate film, characterized in that a pyrolytic boron nitride film is formed between the graphite base material and the tantalum carbonate film. The method for producing the tantalum carbonate-coated graphite member is characterized in that a step of coating a graphite base material with a pyrolytic boron nitride film and a step of coating the graphite base material coated with the pyrolytic boron nitride film with a tantalum carbonate film are successively carried out in a single reactor.
La présente invention concerne un élément de graphite revêtu de carbonate de tantale difficile à décoller durant l'utilisation sous une atmosphère réductrice à haute température, et son procédé de production. L'élément de graphite revêtu de carbonate de tantale selon la présente invention comprend un matériau à base de graphite revêtu d'un film de carbonate de tantale, caractérisé en ce qu'un film de nitrure de bore pyrolytique est formé entre le matériau à base de graphite et le film de carbonate de tantale. Le procédé de production de l'élément de graphite revêtu de carbonate de tantale est caractérisé en ce qu'une étape de revêtement d'un matériau à base de graphite avec un film de nitrure de bore pyrolytique et qu'une étape de revêtement du matériau à base de graphite revêtu du film de nitrure de bore pyrolytique avec un film de carbonate de tantale sont successivement effectuées dans un réacteur unique.
高温還元性雰囲気下での使用で剥離しにくい炭化タンタル被覆グラファイト部材とその製造方法を提供する。本発明に係る炭化タンタル被覆グラファイト部材は、グラファイト基材を炭化タンタル膜で被覆した炭化タンタル被覆グラファイト部材であって、グラファイト基材と炭化タンタル膜との間に、熱分解窒化ホウ素膜が形成されていることを特徴とする。また、炭化タンタル被覆グラファイト部材の製造方法は、グラファイト基材上に、熱分解窒化ホウ素膜を被覆する工程と、熱分解窒化ホウ素膜が被覆されたグラファイト基材上に、炭化タンタル膜を被覆する工程が、同一の反応器内で連続的になされることを特徴とする。
TANTALUM CARBONATE-COATED GRAPHITE MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
ÉLÉMENT DE GRAPHITE REVÊTU DE CARBONATE DE TANTALE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
炭化タンタル被覆グラファイト部材及びその製造方法
KANO SHOJI (Autor:in) / HIRATE AKIHIRO (Autor:in) / YAMAMURA WAICHI (Autor:in)
17.06.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Semiconductor grown tantalum carbide coated graphite component and method of making same
| Europäisches Patentamt | 2023