Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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DIAPHRAGM JOINT BODY
[Problem] To provide a joint body of a diaphragm composed of high-rigidity ceramics and a support substrate, wherein a structure is provided that can prevent peeling or cracking of the diaphragm, while maintaining the strength of the diaphragm. [Solution] This diaphragm joint body 5 is provided with: a support substrate 3 composed of silicon; a diaphragm 1A comprising high-rigidity ceramics, and having a thickness of at most 100 μm; and a joining layer 2 disposed between the support substrate 3 and the diaphragm 1A, being in contact with the joining surface 1a of the diaphragm 1A, and composed of α-Si. The arithmetic average roughness Ra of the joining surface 1a of the diaphragm 1A is 0.01 nm to 10.0 nm, and the pit density of the joining surface 1a of the diaphragm 1A is at least 10 per 100 μm2.
[Problème] Fournir un corps de joint d'un diaphragme composé de céramiques à haute rigidité et d'un substrat de support, une structure étant prévue qui peut empêcher le décollement ou la fissuration du diaphragme, tout en maintenant la résistance du diaphragme. [Solution] La présente invention concerne un corps de joint de diaphragme 5 qui est pourvu de : un substrat de support 3 composé de silicium ; un diaphragme 1A comprenant des céramiques à haute rigidité, et ayant une épaisseur d'au plus 100 µm ; et une couche de jonction 2 disposée entre le substrat de support 3 et le diaphragme 1A, étant en contact avec la surface de jonction 1a du diaphragme 1A, et composée de α-Si. La rugosité moyenne arithmétique Ra de la surface de jonction 1a du diaphragme 1A est de 0,01 nm à 10,0 nm, et la densité de cratères de la surface de jonction 1a du diaphragme 1A est d'au moins 10 pour 100 µm2.
【課題】高剛性セラミックスからなる振動板と支持基板との接合体であって、振動板の強度を維持しつつ、振動板の剥がれや割れを防止できるような構造を提供する。 【解決手段】振動板接合体５は、シリコンからなる支持基板３、高剛性セラミックスからなる厚さ100μｍ以下の振動板１Ａ、および支持基板３と振動板１Ａとの間にあり、振動板１Ａの接合面１ａに接し、α－Ｓｉからなる接合層２を備える。振動板１Ａの接合面１ａの算術平均粗さＲａが０．０１ｎｍ以上、１０．０ｎｍ以下であり、振動板１Ａの接合面１ａのピット密度が１００μｍ２あたり１０個以上である。
DIAPHRAGM JOINT BODY
[Problem] To provide a joint body of a diaphragm composed of high-rigidity ceramics and a support substrate, wherein a structure is provided that can prevent peeling or cracking of the diaphragm, while maintaining the strength of the diaphragm. [Solution] This diaphragm joint body 5 is provided with: a support substrate 3 composed of silicon; a diaphragm 1A comprising high-rigidity ceramics, and having a thickness of at most 100 μm; and a joining layer 2 disposed between the support substrate 3 and the diaphragm 1A, being in contact with the joining surface 1a of the diaphragm 1A, and composed of α-Si. The arithmetic average roughness Ra of the joining surface 1a of the diaphragm 1A is 0.01 nm to 10.0 nm, and the pit density of the joining surface 1a of the diaphragm 1A is at least 10 per 100 μm2.
[Problème] Fournir un corps de joint d'un diaphragme composé de céramiques à haute rigidité et d'un substrat de support, une structure étant prévue qui peut empêcher le décollement ou la fissuration du diaphragme, tout en maintenant la résistance du diaphragme. [Solution] La présente invention concerne un corps de joint de diaphragme 5 qui est pourvu de : un substrat de support 3 composé de silicium ; un diaphragme 1A comprenant des céramiques à haute rigidité, et ayant une épaisseur d'au plus 100 µm ; et une couche de jonction 2 disposée entre le substrat de support 3 et le diaphragme 1A, étant en contact avec la surface de jonction 1a du diaphragme 1A, et composée de α-Si. La rugosité moyenne arithmétique Ra de la surface de jonction 1a du diaphragme 1A est de 0,01 nm à 10,0 nm, et la densité de cratères de la surface de jonction 1a du diaphragme 1A est d'au moins 10 pour 100 µm2.
【課題】高剛性セラミックスからなる振動板と支持基板との接合体であって、振動板の強度を維持しつつ、振動板の剥がれや割れを防止できるような構造を提供する。 【解決手段】振動板接合体５は、シリコンからなる支持基板３、高剛性セラミックスからなる厚さ100μｍ以下の振動板１Ａ、および支持基板３と振動板１Ａとの間にあり、振動板１Ａの接合面１ａに接し、α－Ｓｉからなる接合層２を備える。振動板１Ａの接合面１ａの算術平均粗さＲａが０．０１ｎｍ以上、１０．０ｎｍ以下であり、振動板１Ａの接合面１ａのピット密度が１００μｍ２あたり１０個以上である。
DIAPHRAGM JOINT BODY
CORPS DE JOINT DE DIAPHRAGME
振動板接合体
UNO YUDAI (Autor:in) / TAI TOMOYOSHI (Autor:in) / ASAI KEIICHIRO (Autor:in) / NIWA MASATO (Autor:in)
24.06.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
| NTIS | 1973
Plastic concrete diaphragm wall body joint treatment construction process and application
| Europäisches Patentamt | 2023
Underground diaphragm wall joint and construction method of underground diaphragm wall
| Europäisches Patentamt | 2023