Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
A ceramic joined body (1) which is provided with: a pair of ceramic plates (2, 3) containing a conductive substance; and a conductive layer (4) and an insulating layer (5), which are interposed between the pair of ceramic plates (2, 3). The porosity at the interface between the pair of ceramic plates (2, 3) and the insulating layer (5) is 4% or less; and the ratio of the average primary particle diameter of an insulating substance that constitutes the insulating layer (5) to the average primary particle diameter of an insulating substance that constitutes the ceramic plates (2, 3) is more than 1.
L'invention concerne un corps assemblé en céramique (1) qui comporte : une paire de plaques de céramique (2, 3) contenant une substance conductrice ; et une couche conductrice (4) et une couche isolante (5), qui sont interposées entre la paire de plaques de céramique (2, 3). La porosité au niveau de l'interface entre la paire de plaques de céramique (2, 3) et la couche isolante (5) est inférieure ou égale à 4 % ; et le rapport du diamètre moyen de particule primaire d'une substance isolante qui constitue la couche isolante (5) au diamètre moyen de particule primaire d'une substance isolante qui constitue les plaques de céramique (2, 3) est supérieur à 1.
導電性物質を含む一対のセラミックス板（２，３）と、前記一対のセラミックス板（２，３）の間に介在する導電層（４）および絶縁層（５）と、を備え、一対のセラミックス板（２，３）と絶縁層（５）との界面における気孔率が４％以下、セラミックス板（２，３）を構成する絶縁性物質の平均一次粒子径に対する絶縁層（５）を構成する絶縁性物質の平均一次粒子径の比が１より大きいセラミックス接合体（１）。
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
A ceramic joined body (1) which is provided with: a pair of ceramic plates (2, 3) containing a conductive substance; and a conductive layer (4) and an insulating layer (5), which are interposed between the pair of ceramic plates (2, 3). The porosity at the interface between the pair of ceramic plates (2, 3) and the insulating layer (5) is 4% or less; and the ratio of the average primary particle diameter of an insulating substance that constitutes the insulating layer (5) to the average primary particle diameter of an insulating substance that constitutes the ceramic plates (2, 3) is more than 1.
L'invention concerne un corps assemblé en céramique (1) qui comporte : une paire de plaques de céramique (2, 3) contenant une substance conductrice ; et une couche conductrice (4) et une couche isolante (5), qui sont interposées entre la paire de plaques de céramique (2, 3). La porosité au niveau de l'interface entre la paire de plaques de céramique (2, 3) et la couche isolante (5) est inférieure ou égale à 4 % ; et le rapport du diamètre moyen de particule primaire d'une substance isolante qui constitue la couche isolante (5) au diamètre moyen de particule primaire d'une substance isolante qui constitue les plaques de céramique (2, 3) est supérieur à 1.
導電性物質を含む一対のセラミックス板（２，３）と、前記一対のセラミックス板（２，３）の間に介在する導電層（４）および絶縁層（５）と、を備え、一対のセラミックス板（２，３）と絶縁層（５）との界面における気孔率が４％以下、セラミックス板（２，３）を構成する絶縁性物質の平均一次粒子径に対する絶縁層（５）を構成する絶縁性物質の平均一次粒子径の比が１より大きいセラミックス接合体（１）。
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
CORPS ASSEMBLÉ EN CÉRAMIQUE, DISPOSITIF DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN CORPS ASSEMBLÉ EN CÉRAMIQUE
セラミックス接合体、静電チャック装置、セラミックス接合体の製造方法
MIURA YUKIO (Autor:in) / HIDAKA NOBUHIRO (Autor:in) / ARIKAWA JUN (Autor:in) / KUGIMOTO HIRONORI (Autor:in)
05.08.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2023
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2021
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2022
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2023
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCKING DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2023