Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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SILICON CARBIDE POWDER, COMPOSITION USING SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE POWDER
A silicon carbide powder according to the present invention is an aggregate of silicon carbide particles containing the element nitrogen. If the powder is measured in a region down to the depth of 12 nm from an outermost surface by X-ray photoelectron spectroscopy, an integral value of a ratio of a detection intensity of the element nitrogen to a total detection intensity of the element carbon and the element silicon is 0.05 or greater. Moreover, the slope of a change in the ratio thereof is -0.0008 or less. A specific surface area measured using nitrogen is preferably 5 m2/g to 40 m2/g. Furthermore, the 50% particle diameter D50 in a quantity distribution measured by observation with a scanning electron microscope is preferably 50 nm to 1000 nm. The present invention also provides a method for manufacturing the silicon carbide powder.
Une poudre de carbure de silicium selon la présente invention est un agrégat de particules de carbure de silicium contenant l'élément azote. Si la poudre est mesurée dans une région jusqu'à la profondeur de 12 nm à partir d'une surface la plus à l'extérieur par spectroscopie photoélectronique aux rayons X, une valeur intégrale d'un rapport d'une intensité de détection de l'élément azote sur une intensité de détection totale de l'élément carbone et de l'élément silicium est de 0,05 ou plus. De plus, la pente d'un changement dans son rapport est de -0,0008 ou moins. Une surface spécifique mesurée en utilisant de l'azote est de préférence de 5 m2/g à 40 m2/g. En outre, le diamètre de 50 % des particules D50 dans une distribution de quantité mesurée par observation avec un microscope électronique à balayage est de préférence de 50 nm à 1 000 nm. La présente invention concerne également un procédé de fabrication de la poudre de carbure de silicium.
炭化ケイ素粉末は、窒素元素を含む炭化ケイ素粒子の集合体である。前記粉末は、Ｘ線光電子分光分析によって最表面から深さ１２ｎｍまでの領域において測定したときに、炭素元素及びケイ素元素の合計検出強度に対する窒素元素の検出強度の比の積分値が０．０５以上である。また前記比の変化の傾きが、－０．０００８以下である。窒素を用いて測定された比表面積が５ｍ２／ｇ以上４０ｍ２／ｇ以下であることも好適である。走査型電子顕微鏡観察で測定された個数分布における５０％粒子径Ｄ５０が５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることも好適である。また本発明は、炭化ケイ素粉末の製造方法も提供する。
SILICON CARBIDE POWDER, COMPOSITION USING SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE POWDER
A silicon carbide powder according to the present invention is an aggregate of silicon carbide particles containing the element nitrogen. If the powder is measured in a region down to the depth of 12 nm from an outermost surface by X-ray photoelectron spectroscopy, an integral value of a ratio of a detection intensity of the element nitrogen to a total detection intensity of the element carbon and the element silicon is 0.05 or greater. Moreover, the slope of a change in the ratio thereof is -0.0008 or less. A specific surface area measured using nitrogen is preferably 5 m2/g to 40 m2/g. Furthermore, the 50% particle diameter D50 in a quantity distribution measured by observation with a scanning electron microscope is preferably 50 nm to 1000 nm. The present invention also provides a method for manufacturing the silicon carbide powder.
Une poudre de carbure de silicium selon la présente invention est un agrégat de particules de carbure de silicium contenant l'élément azote. Si la poudre est mesurée dans une région jusqu'à la profondeur de 12 nm à partir d'une surface la plus à l'extérieur par spectroscopie photoélectronique aux rayons X, une valeur intégrale d'un rapport d'une intensité de détection de l'élément azote sur une intensité de détection totale de l'élément carbone et de l'élément silicium est de 0,05 ou plus. De plus, la pente d'un changement dans son rapport est de -0,0008 ou moins. Une surface spécifique mesurée en utilisant de l'azote est de préférence de 5 m2/g à 40 m2/g. En outre, le diamètre de 50 % des particules D50 dans une distribution de quantité mesurée par observation avec un microscope électronique à balayage est de préférence de 50 nm à 1 000 nm. La présente invention concerne également un procédé de fabrication de la poudre de carbure de silicium.
炭化ケイ素粉末は、窒素元素を含む炭化ケイ素粒子の集合体である。前記粉末は、Ｘ線光電子分光分析によって最表面から深さ１２ｎｍまでの領域において測定したときに、炭素元素及びケイ素元素の合計検出強度に対する窒素元素の検出強度の比の積分値が０．０５以上である。また前記比の変化の傾きが、－０．０００８以下である。窒素を用いて測定された比表面積が５ｍ２／ｇ以上４０ｍ２／ｇ以下であることも好適である。走査型電子顕微鏡観察で測定された個数分布における５０％粒子径Ｄ５０が５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることも好適である。また本発明は、炭化ケイ素粉末の製造方法も提供する。
SILICON CARBIDE POWDER, COMPOSITION USING SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE POWDER
POUDRE DE CARBURE DE SILICIUM, COMPOSITION L'UTILISANT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE POUDRE DE CARBURE DE SILICIUM
炭化ケイ素粉末、それを用いた組成物、並びに炭化ケイ素粉末の製造方法
MUTO MASARU (Autor:in) / ENOMOTO KATSUYOSHI (Autor:in) / YOSHIDA KAZUMA (Autor:in) / OTA KOYU (Autor:in)
29.09.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
| Europäisches Patentamt | 2023