Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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SHOWER PLATE
Provided is a shower plate including a substrate, a partition, a supply port, and a plurality of jetting holes. The substrate is formed of ceramic and is a plate-like substrate having a space in the interior thereof. The partition separates the space of the substrate into an inner space and a flow channel positioned in the periphery of the inner space. The supply port supplies the flow channel with a gas. The plurality of jetting holes are in communication with the inner space so as to open in one surface of the substrate, and the gas is jetted therefrom. Also, the partition has a plurality of introduction holes that communicate the inner space and the flow channel and from which the gas flowing in the flow channel is introduced into the inner space.
L'invention concerne une plaque de douche comprenant un substrat, une cloison, un orifice d'alimentation et une pluralité de trous d'éjection. Le substrat est constitué de céramique et est un substrat en forme de plaque contenant un espace. La cloison sépare l'espace du substrat en un espace interne et un canal d'écoulement positionné dans la périphérie de l'espace interne. L'orifice d'alimentation alimente le canal d'écoulement en gaz. La pluralité de trous d'éjection sont en communication avec l'espace interne de manière à s'ouvrir sur une surface du substrat, et le gaz est éjecté à partir de ceux-ci. En outre, la cloison comprend une pluralité de trous d'introduction qui mettent en communication l'espace interne et le canal d'écoulement et par lesquels le gaz circulant dans le canal d'écoulement est introduit dans l'espace interne.
シャワープレートは、基体と、隔壁と、供給口と、複数の噴出孔とを備える。基体は、セラミックスからなり、内部に空間を有する板状の基体である。隔壁は、基体の空間を内側空間と内側空間の周囲に位置する流路とに隔てる。供給口は、流路にガスを供給する。複数の噴出孔は、内側空間に連通して基体の一面に開口し、ガスを噴出する。そして、隔壁は、内側空間と流路とを連通し、流路を流れるガスを内側空間に導入する複数の導入孔を有する。
SHOWER PLATE
Provided is a shower plate including a substrate, a partition, a supply port, and a plurality of jetting holes. The substrate is formed of ceramic and is a plate-like substrate having a space in the interior thereof. The partition separates the space of the substrate into an inner space and a flow channel positioned in the periphery of the inner space. The supply port supplies the flow channel with a gas. The plurality of jetting holes are in communication with the inner space so as to open in one surface of the substrate, and the gas is jetted therefrom. Also, the partition has a plurality of introduction holes that communicate the inner space and the flow channel and from which the gas flowing in the flow channel is introduced into the inner space.
L'invention concerne une plaque de douche comprenant un substrat, une cloison, un orifice d'alimentation et une pluralité de trous d'éjection. Le substrat est constitué de céramique et est un substrat en forme de plaque contenant un espace. La cloison sépare l'espace du substrat en un espace interne et un canal d'écoulement positionné dans la périphérie de l'espace interne. L'orifice d'alimentation alimente le canal d'écoulement en gaz. La pluralité de trous d'éjection sont en communication avec l'espace interne de manière à s'ouvrir sur une surface du substrat, et le gaz est éjecté à partir de ceux-ci. En outre, la cloison comprend une pluralité de trous d'introduction qui mettent en communication l'espace interne et le canal d'écoulement et par lesquels le gaz circulant dans le canal d'écoulement est introduit dans l'espace interne.
シャワープレートは、基体と、隔壁と、供給口と、複数の噴出孔とを備える。基体は、セラミックスからなり、内部に空間を有する板状の基体である。隔壁は、基体の空間を内側空間と内側空間の周囲に位置する流路とに隔てる。供給口は、流路にガスを供給する。複数の噴出孔は、内側空間に連通して基体の一面に開口し、ガスを噴出する。そして、隔壁は、内側空間と流路とを連通し、流路を流れるガスを内側空間に導入する複数の導入孔を有する。
SHOWER PLATE
PLAQUE DE DOUCHE
シャワープレート
MUNEISHI TAKESHI (Autor:in) / WATANABE DAIKI (Autor:in)
06.04.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
SHOWER PLATE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS, AND SHOWER PLATE MANUFACTURING METHOD
| Europäisches Patentamt | 2017
Shower plate, semiconductor manufacturing apparatus, and method for manufacturing shower plate
| Europäisches Patentamt | 2021
SHOWER PLATE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SHOWER PLATE
| Europäisches Patentamt | 2018
SHOWER HEAD CAPABLE OF PROVIDING SHOWER FEELING WITHOUT WATER SPRAY PLATE
| Europäisches Patentamt | 2017
Shower head capable of providing shower feeling without water spray plate
| Europäisches Patentamt | 2018