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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIT EINER DIAMANTÄHNLICHEN BESCHICHTUNG VERSEHENEN WÄRMEBEHANDELTEN SUBSTRATS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines wärmebehandelten Substrats (1) mit einer Beschichtung umfassend eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) (2), wobei das Verfahren die Schritte A) das Aufbringen folgender Schichten auf das Substrat (1) in dieser Reihenfolge: c) eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) (2), d) eine ein- oder mehrlagige Opferschicht (6), B) Wärmebehandlung des Substrats (1) mit der in Schritt A) aufgebrachten Beschichtung, die die Schicht aus DLC (2) und die Opferschicht (6) umfasst, bevorzugt bei einer Temperatur von 300 bis 800 °C, und C) Entfernen der Opferschicht (6) von dem wärmebehandelten, beschichteten Substrat (1) mit einer Ultrakurzpuls (UKP-) Laserablation umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin ein nach dem Verfahren erhältliches, wärmebehandeltes Substrat (1) mit einer Beschichtung umfassend eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (2).
The invention relates to a method for producing a heat-treated substrate (1) having a coating comprising a layer of diamond-like carbon (DLC) (2), the method comprising the steps: A) applying the following layers to the substrate (1) in this order: c) a layer of diamond-like carbon (DLC) (2), d) a single- or multi-layer sacrificial layer (6), B) heat-treating the substrate (1) with the coating applied in step A), said coating comprising the layer of DLC (2) and the sacrificial layer (6), preferably at a temperature of 300 to 800 °C, and C) removing the sacrificial layer (6) from the heat-treated, coated substrate (1) by means of ultra-short pulse (USP) laser ablation. The invention further relates to a heat-treated substrate (1) which can be obtained according to said method and which has a coating comprising a layer of diamond-like carbon (2).
L'invention concerne un procédé pour la production d'un substrat traité thermiquement (1) comprenant un revêtement comprenant une couche de carbone de type diamant (DLC) (2), le procédé comprenant les étapes consistant à : A) appliquer les couches suivantes sur le substrat (1) dans cet ordre : c) une couche de carbone de type diamant (DLC) (2) et d) une couche sacrificielle monocouche ou multicouches (6), B) traiter thermiquement le substrat (1) portant le revêtement appliqué à l'étape A), ledit revêtement comprenant la couche de DLC (2) et la couche sacrificielle (6), de préférence à une température de 300 à 800 °C, et C) retirer la couche sacrificielle (6) du substrat revêtu traité thermiquement (1) au moyen d'une ablation par laser à impulsions ultracourtes (USP). L'invention concerne en outre un substrat traité thermiquement (1) qui peut être obtenu selon ledit procédé et qui a un revêtement comprenant une couche de carbone de type diamant (2).
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIT EINER DIAMANTÄHNLICHEN BESCHICHTUNG VERSEHENEN WÄRMEBEHANDELTEN SUBSTRATS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines wärmebehandelten Substrats (1) mit einer Beschichtung umfassend eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) (2), wobei das Verfahren die Schritte A) das Aufbringen folgender Schichten auf das Substrat (1) in dieser Reihenfolge: c) eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) (2), d) eine ein- oder mehrlagige Opferschicht (6), B) Wärmebehandlung des Substrats (1) mit der in Schritt A) aufgebrachten Beschichtung, die die Schicht aus DLC (2) und die Opferschicht (6) umfasst, bevorzugt bei einer Temperatur von 300 bis 800 °C, und C) Entfernen der Opferschicht (6) von dem wärmebehandelten, beschichteten Substrat (1) mit einer Ultrakurzpuls (UKP-) Laserablation umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin ein nach dem Verfahren erhältliches, wärmebehandeltes Substrat (1) mit einer Beschichtung umfassend eine Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (2).
The invention relates to a method for producing a heat-treated substrate (1) having a coating comprising a layer of diamond-like carbon (DLC) (2), the method comprising the steps: A) applying the following layers to the substrate (1) in this order: c) a layer of diamond-like carbon (DLC) (2), d) a single- or multi-layer sacrificial layer (6), B) heat-treating the substrate (1) with the coating applied in step A), said coating comprising the layer of DLC (2) and the sacrificial layer (6), preferably at a temperature of 300 to 800 °C, and C) removing the sacrificial layer (6) from the heat-treated, coated substrate (1) by means of ultra-short pulse (USP) laser ablation. The invention further relates to a heat-treated substrate (1) which can be obtained according to said method and which has a coating comprising a layer of diamond-like carbon (2).
L'invention concerne un procédé pour la production d'un substrat traité thermiquement (1) comprenant un revêtement comprenant une couche de carbone de type diamant (DLC) (2), le procédé comprenant les étapes consistant à : A) appliquer les couches suivantes sur le substrat (1) dans cet ordre : c) une couche de carbone de type diamant (DLC) (2) et d) une couche sacrificielle monocouche ou multicouches (6), B) traiter thermiquement le substrat (1) portant le revêtement appliqué à l'étape A), ledit revêtement comprenant la couche de DLC (2) et la couche sacrificielle (6), de préférence à une température de 300 à 800 °C, et C) retirer la couche sacrificielle (6) du substrat revêtu traité thermiquement (1) au moyen d'une ablation par laser à impulsions ultracourtes (USP). L'invention concerne en outre un substrat traité thermiquement (1) qui peut être obtenu selon ledit procédé et qui a un revêtement comprenant une couche de carbone de type diamant (2).
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIT EINER DIAMANTÄHNLICHEN BESCHICHTUNG VERSEHENEN WÄRMEBEHANDELTEN SUBSTRATS
METHOD FOR PRODUCING A HEAT-TREATED SUBSTRATE PROVIDED WITH A DIAMOND-LIKE COATING
PROCÉDÉ POUR LA PRODUCTION D'UN SUBSTRAT TRAITÉ THERMIQUEMENT POURVU D'UN REVÊTEMENT DE TYPE DIAMANT
ZIMMERMANN ROBERTO (Autor:in) / HAGEN JAN (Autor:in) / YEH LI-YA (Autor:in) / MOORAJ SEMJON (Autor:in)
31.08.2023
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
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