Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ADSORPTION MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
An adsorption member according to the present disclosure is provided with a substrate which is formed of a ceramic that is mainly composed of silicon carbide and a plurality of projected parts which are formed on the surface of the substrate; each of the projected parts comprises a stage part that has a stage surface on which an object to be processed is to be placed, and a support part that supports the stage part; the stage part is formed of a film which is mainly composed of at least one substance that is selected from among silicon carbide, diamond-like carbon, amorphous silicon, molybdenum, chromium and tantalum; and respective films of the projected parts are independent from each other.
Un élément d'adsorption selon la présente divulgation est doté d'un substrat qui est formé d'une céramique qui est principalement composée de carbure de silicium et d'une pluralité de parties saillantes qui sont formées sur la surface du substrat ; chacune des parties saillantes comprend une partie d'étage qui présente une surface d'étage sur laquelle un objet devant être traité doit être placé, et une partie de support qui supporte la partie d'étage ; la partie d'étage est formée d'un film qui est principalement composé d'au moins une substance qui est choisie parmi le carbure de silicium, le carbone du type diamant, le silicium amorphe, le molybdène, le chrome et le tantale ; et des films respectifs des parties saillantes sont indépendants les uns des autres.
本開示の吸着部材は、主成分として炭化珪素を含むセラミックスからなる基板と、該基板の表面に形成された複数の突起部と、を備え、突起部は、被処理体を載置するための載置面を有する載置部および該載置部を支持する支持部を有し、載置部は、主成分として炭化珪素、ダイヤモンドライクカーボン、非晶質シリコン、モリブデン、クロムおよびタンタルから選ばれる少なくとも１種を含む膜からなり、膜は、突起部毎に互いに独立している。
ADSORPTION MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
An adsorption member according to the present disclosure is provided with a substrate which is formed of a ceramic that is mainly composed of silicon carbide and a plurality of projected parts which are formed on the surface of the substrate; each of the projected parts comprises a stage part that has a stage surface on which an object to be processed is to be placed, and a support part that supports the stage part; the stage part is formed of a film which is mainly composed of at least one substance that is selected from among silicon carbide, diamond-like carbon, amorphous silicon, molybdenum, chromium and tantalum; and respective films of the projected parts are independent from each other.
Un élément d'adsorption selon la présente divulgation est doté d'un substrat qui est formé d'une céramique qui est principalement composée de carbure de silicium et d'une pluralité de parties saillantes qui sont formées sur la surface du substrat ; chacune des parties saillantes comprend une partie d'étage qui présente une surface d'étage sur laquelle un objet devant être traité doit être placé, et une partie de support qui supporte la partie d'étage ; la partie d'étage est formée d'un film qui est principalement composé d'au moins une substance qui est choisie parmi le carbure de silicium, le carbone du type diamant, le silicium amorphe, le molybdène, le chrome et le tantale ; et des films respectifs des parties saillantes sont indépendants les uns des autres.
本開示の吸着部材は、主成分として炭化珪素を含むセラミックスからなる基板と、該基板の表面に形成された複数の突起部と、を備え、突起部は、被処理体を載置するための載置面を有する載置部および該載置部を支持する支持部を有し、載置部は、主成分として炭化珪素、ダイヤモンドライクカーボン、非晶質シリコン、モリブデン、クロムおよびタンタルから選ばれる少なくとも１種を含む膜からなり、膜は、突起部毎に互いに独立している。
ADSORPTION MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
ÉLÉMENT D'ADSORPTION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ
吸着部材およびその製造方法
HARADA MASAHIRO (Autor:in)
19.01.2023
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch