Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Ion exchange - crucial mechanism for production of ultrapure water
Der Reinheitsgrad von ultrareinem Wasser wird durch den spezifischen Widerstand ausgedrueckt. In der Halbleitertechnologie wird '18-Megaohm'-Wasser benoetigt, d.h. Wasser mit einem Widerstand von 18 Megaohm.cm. Zur Erreichung dieser Reinheit wird das Wasser, nachdem es verschiedene Reinigungsvorgaenge durchlaufen hat (z.B. Filtern, Entgasen, reversible Osmose), in einem Ionenaustauschersystem gereinigt. Das Prinzip dieses Verfahrens wird beschrieben. Insbesondere wird auf die Harze zum Kationen- und Anionenaustausch und die damit verbundenen chemischen Prozesse eingegangen. Die selektive Ordnung der Ionenaustauschharze wird besprochen. Ein stark saures Kationenharz z. B. scheidet in der Reihenfolge H+, Na+, NH4(+), Mg(2+), Fe(2+) und Ca(2+) aus. Es existieren zwei Hauptgruppen von Harzen: Gel-Harze und makroporoese Harze. Ihre Anpassung an verschiedene Verwendungszwecke wird besprochen. Zum Schluss wird kurz auf verschiedene Systemkonfigurationen eingegangen.
Ion exchange - crucial mechanism for production of ultrapure water
Der Reinheitsgrad von ultrareinem Wasser wird durch den spezifischen Widerstand ausgedrueckt. In der Halbleitertechnologie wird '18-Megaohm'-Wasser benoetigt, d.h. Wasser mit einem Widerstand von 18 Megaohm.cm. Zur Erreichung dieser Reinheit wird das Wasser, nachdem es verschiedene Reinigungsvorgaenge durchlaufen hat (z.B. Filtern, Entgasen, reversible Osmose), in einem Ionenaustauschersystem gereinigt. Das Prinzip dieses Verfahrens wird beschrieben. Insbesondere wird auf die Harze zum Kationen- und Anionenaustausch und die damit verbundenen chemischen Prozesse eingegangen. Die selektive Ordnung der Ionenaustauschharze wird besprochen. Ein stark saures Kationenharz z. B. scheidet in der Reihenfolge H+, Na+, NH4(+), Mg(2+), Fe(2+) und Ca(2+) aus. Es existieren zwei Hauptgruppen von Harzen: Gel-Harze und makroporoese Harze. Ihre Anpassung an verschiedene Verwendungszwecke wird besprochen. Zum Schluss wird kurz auf verschiedene Systemkonfigurationen eingegangen.
Ion exchange - crucial mechanism for production of ultrapure water
Ionenaustausch- ein entscheidendes Verfahren zur Erzeugung von ultrareinem Wasser
Lefevre, L.J. (Autor:in)
Microelectronic Manufacturing and Testing ; 7 ; 26-27
1984
2 Seiten, 3 Bilder, 1 Tabelle
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
| DOAJ | 2024
Ultrapure water and reverse osmosis technology
| Tema Archiv | 1974