Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
Elektronische Bauelemente werden durch Waschprozesse z.B. von noch anhaftenden Loetmitteln befreit. Hierzu ist Reinstwasser erforderlich. Im vorliegenden Beitrag wird eine derartige Wasseraufbereitungsanlage beschrieben, ueber Betriebserfahrungen berichtet sowie Angaben zu den Kosten gemacht. Zweck der Anlage ist es, die toten und lebenden Schwebstoffe sowie die geloesten ionischen und anionischen Verunreinigungen zu entfernen.
Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
Elektronische Bauelemente werden durch Waschprozesse z.B. von noch anhaftenden Loetmitteln befreit. Hierzu ist Reinstwasser erforderlich. Im vorliegenden Beitrag wird eine derartige Wasseraufbereitungsanlage beschrieben, ueber Betriebserfahrungen berichtet sowie Angaben zu den Kosten gemacht. Zweck der Anlage ist es, die toten und lebenden Schwebstoffe sowie die geloesten ionischen und anionischen Verunreinigungen zu entfernen.
Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
Production of superpure water for the microelectronic
Elektrotechnik, Aarau ; 36 ; 22-23
1985
2 Seiten, 3 Bilder
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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