Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Reinstwasser fuer die Mikroelektronik. Ausschussquoten haengen weitgehend von der Qualitaet des Spuelmittels ab
Es wird ein Blockschaltbild einer Reinstwasseraufbereitungsanlage erlaeutert, die folgende Durchschnittswerte erzielt: Leitfaehigkeit 0,04 mikroS/cm bis 0,6 mirkoS/cm, Partikelzahlen groesser 1 mikrom/ml = 1 gemessen mit Partikelzaehler, Keimzahl 0 bis 2/ml, Schwermetalle kleiner als 0,01 mg/l, SiO2 kleiner 10 ppb. Zwei Anlagen mit einer Nettoleistung von 30 m3/h sind seit einem halben Jahr in Betrieb. (Auerbacher)
Reinstwasser fuer die Mikroelektronik. Ausschussquoten haengen weitgehend von der Qualitaet des Spuelmittels ab
Es wird ein Blockschaltbild einer Reinstwasseraufbereitungsanlage erlaeutert, die folgende Durchschnittswerte erzielt: Leitfaehigkeit 0,04 mikroS/cm bis 0,6 mirkoS/cm, Partikelzahlen groesser 1 mikrom/ml = 1 gemessen mit Partikelzaehler, Keimzahl 0 bis 2/ml, Schwermetalle kleiner als 0,01 mg/l, SiO2 kleiner 10 ppb. Zwei Anlagen mit einer Nettoleistung von 30 m3/h sind seit einem halben Jahr in Betrieb. (Auerbacher)
Reinstwasser fuer die Mikroelektronik. Ausschussquoten haengen weitgehend von der Qualitaet des Spuelmittels ab
Heybach, K. (Autor:in)
VDI Nachrichten ; 36 ; 6
1982
1 Seite, 1 Bild
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
Tema Archiv | 1985
Reinstwasser fuer Spitzentechnologien
| Tema Archiv | 1987
| Online Contents | 1995
Tema Archiv | 1979
Contamination Control Reinstwasser
Online Contents | 1995