Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Bei der Züchtung von Silizium-Kristallen für die Halbleiterindustrie sowie bei anderen, unter nahezu Vakuumbedingungen ablaufenden Prozessen können staubförmige (Neben-) Produkte auftreten, die amorphe bzw. metastabile Modifikationen von Elementen und Verbindungen aufweisen. Diese Modifikationen haben häufig eine hohe Reaktionsfähigkeit mit Luftsauerstoff (Pyrophorität ist möglich) und setzen beim Übergang in stabilere Formen (kristalline Strukturen) Wärme frei. Infolge dessen traten in der Praxis wiederholt Brände und Explosionen vor allem dann auf, wenn der Staub erstmals der Luftatmosphäre ausgesetzt wurde. Eine Überprüfung der sicherheitstechnischen Kenngrößen solcher Stäube ergab teilweise eine sehr hohe Zündbereitschaft und Brennbarkeit, wobei das sicherheitstechnische Gefährdungspotential der Stäube sich im Laufe der Zeit allmählich vermindert. Eine gezielte Luftspülung bewirkt eine deutliche Verringerung der Reaktionsfähigkeit und Entzündbarkeit dieser Stäube. Dadurch und infolge weiterer Maßnahmen konnte eine deutliche Erhöhung der Brand- und Explosionssicherheit erreicht werden.
Bei der Züchtung von Silizium-Kristallen für die Halbleiterindustrie sowie bei anderen, unter nahezu Vakuumbedingungen ablaufenden Prozessen können staubförmige (Neben-) Produkte auftreten, die amorphe bzw. metastabile Modifikationen von Elementen und Verbindungen aufweisen. Diese Modifikationen haben häufig eine hohe Reaktionsfähigkeit mit Luftsauerstoff (Pyrophorität ist möglich) und setzen beim Übergang in stabilere Formen (kristalline Strukturen) Wärme frei. Infolge dessen traten in der Praxis wiederholt Brände und Explosionen vor allem dann auf, wenn der Staub erstmals der Luftatmosphäre ausgesetzt wurde. Eine Überprüfung der sicherheitstechnischen Kenngrößen solcher Stäube ergab teilweise eine sehr hohe Zündbereitschaft und Brennbarkeit, wobei das sicherheitstechnische Gefährdungspotential der Stäube sich im Laufe der Zeit allmählich vermindert. Eine gezielte Luftspülung bewirkt eine deutliche Verringerung der Reaktionsfähigkeit und Entzündbarkeit dieser Stäube. Dadurch und infolge weiterer Maßnahmen konnte eine deutliche Erhöhung der Brand- und Explosionssicherheit erreicht werden.
Brand- und Explosionsgefährlichkeit von Stäuben, die unter Vakuum entstehen
Lucas, J. (Autor:in)
2001
13 Seiten, 1 Bild, 3 Tabellen, 6 Quellen
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
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