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Ultrareines Wasser ist ein kritisches Reagenz für die Herstellung von Halbleitern und pharmazeutischen Produkten und für die Umwandlung von Kernenergie in Elektrizität. Geeignete Hilfsmittel für Herstellung, Überprüfung, Transport und Lagerung dieses Wassers sind von großer Bedeutung. Je nach Einsatzbereich sind die Qualitätsanforderungen sehr unterschiedlich. Der TOC-Gehalt (total organic carbon: gesamter organischer Kohlenstoff) ist ein kritisches Maß für die Reinheit von Wasser. Für Trinkwasser liegt es in den USA zwischen 1,2 und 17 ppm. Die pharmazeutische Industrie benötigt Wasser mit TOC-Gehalten unter 500 ppb, die Kernenergie unter 50 ppb und die Mikroelektronik braucht Wasser mit TOC-Gehalten von weniger als 1 ppb. Diese TOC-Gehalte müssen natürlich auch mit geeigneten Meßmethoden überprüft werden können. Hier hinkt die Analysentechnik der Wasserreinigungstechnologie hinterher. Alle TOC-Analysengeräte führen zwei Funktionen durch: die Oxidation organischen Kohlenstoffs und die Messung der Oxidationsprodukte. Die Auswahl geeigneter TOC-Überwachungsgeräte für ultrareines Wasser ist schwierig, da es kaum veröffentlichte Auswahlkriterien und Richtlinien gibt. Bei den Halbleiterherstellern gibt es aus wirtschaftlichen und umweltpoltischen Gründen den zunehmenden Trend das Prozeßwasser zu reinigen und wiederzuverwenden. Die TOC-Überwachung ist hier ein wichtiges Kriterium bei der Entscheidung, ob ein bestimmtes Wasser besser entsorgt oder besser wiederverwendet werden soll.
Ultrareines Wasser ist ein kritisches Reagenz für die Herstellung von Halbleitern und pharmazeutischen Produkten und für die Umwandlung von Kernenergie in Elektrizität. Geeignete Hilfsmittel für Herstellung, Überprüfung, Transport und Lagerung dieses Wassers sind von großer Bedeutung. Je nach Einsatzbereich sind die Qualitätsanforderungen sehr unterschiedlich. Der TOC-Gehalt (total organic carbon: gesamter organischer Kohlenstoff) ist ein kritisches Maß für die Reinheit von Wasser. Für Trinkwasser liegt es in den USA zwischen 1,2 und 17 ppm. Die pharmazeutische Industrie benötigt Wasser mit TOC-Gehalten unter 500 ppb, die Kernenergie unter 50 ppb und die Mikroelektronik braucht Wasser mit TOC-Gehalten von weniger als 1 ppb. Diese TOC-Gehalte müssen natürlich auch mit geeigneten Meßmethoden überprüft werden können. Hier hinkt die Analysentechnik der Wasserreinigungstechnologie hinterher. Alle TOC-Analysengeräte führen zwei Funktionen durch: die Oxidation organischen Kohlenstoffs und die Messung der Oxidationsprodukte. Die Auswahl geeigneter TOC-Überwachungsgeräte für ultrareines Wasser ist schwierig, da es kaum veröffentlichte Auswahlkriterien und Richtlinien gibt. Bei den Halbleiterherstellern gibt es aus wirtschaftlichen und umweltpoltischen Gründen den zunehmenden Trend das Prozeßwasser zu reinigen und wiederzuverwenden. Die TOC-Überwachung ist hier ein wichtiges Kriterium bei der Entscheidung, ob ein bestimmtes Wasser besser entsorgt oder besser wiederverwendet werden soll.
Total organic carbon - a critical measure of ultrapure water. Part 2
Gesamter organischer Kohlenstoffgehalt - Ein kritisches Maß für ultrareines Wasser. Teil 2
Craig, C. (Autor:in)
Chemical Engineering, New York ; 103 ; 80-82
1996
3 Seiten, 3 Bilder, 3 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
Total organic carbon reduction in ultrapure water processing
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