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Total organic carbon (TOC) derived from organics is often the largest source of contamination in ultrapurity water systems. This problem is discussed in the framework of semiconductor processing.
Total organic carbon (TOC) derived from organics is often the largest source of contamination in ultrapurity water systems. This problem is discussed in the framework of semiconductor processing.
Total organic carbon reduction in ultrapure water processing
Völlige Reduzierung von organischem Kohlenstoff in ultrareinem Prozeßwasser
Sinha, D. (Autor:in)
Solid State Technology ; 35 ; S9-S12
1992
4 Seiten, 5 Bilder, 10 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
WASSER , FERTIGUNGSVERFAHREN , HALBLEITERTECHNOLOGIE , REINIGUNG , CHEMISCHE REINHEIT , KOHLENSTOFF , VERUNREINIGUNG , CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG , WASSERAUFBEREITUNG , CHROMATOGRAMM , FLUESSIGKEITSCHROMATOGRAPHIE , THERMOPLAST , WASSERVERSORGUNG , ROHRLEITUNG , LOESUNGSMITTEL , ORGANISCHE VERBINDUNG
Total organic carbon - a critical measure of ultrapure water. Part 2
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