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Computersimulation zur Synthese von Siliciumnitrid‐Partikeln in Gasphasen‐reaktoren

Bensberg, Andreas / Roth, Paul / Brink, Reinhold / Lange, Horst

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Titel:

Computersimulation zur Synthese von Siliciumnitrid‐Partikeln in Gasphasen‐reaktoren

Beteiligte:

Bensberg, Andreas (Autor:in) / Roth, Paul (Autor:in) / Brink, Reinhold (Autor:in) / Lange, Horst (Autor:in)

Erschienen in:

Chemie Ingenieur Technik ; 70 ; 1439-1443

Erscheinungsdatum:

01.11.1998

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0009-286X , 1522-2640

DOI:

https://doi.org/10.1002/cite.330701118

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Englisch

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