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PECVD‐Partikelbeschichtungen in einer Plasma‐Wirbelschicht
PECVD‐Partikelbeschichtungen in einer Plasma‐Wirbelschicht
PECVD‐Partikelbeschichtungen in einer Plasma‐Wirbelschicht
Bayer, Christian (Autor:in) / Karches, Martin (Autor:in) / Atthews, Andrew (Autor:in) / Rohr, Philipp Rudolf Von (Autor:in)
Chemie Ingenieur Technik ; 70 ; 727-730
01.06.1998
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Elektronische Ressource
Englisch
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