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    Title:

    PECVD‐Partikelbeschichtungen in einer Plasma‐Wirbelschicht

    Contributors:

    Bayer, Christian (author) / Karches, Martin (author) / Atthews, Andrew (author) / Rohr, Philipp Rudolf Von (author)

    Published in:

    Chemie Ingenieur Technik ; 70 ; 727-730

    Publication date:

    1998-06-01

    Size:

    4 pages

    ISSN:

    0009-286X , 1522-2640

    DOI:

    https://doi.org/10.1002/cite.330700611

    Type of media:

    Article (Journal)

    Type of material:

    Electronic Resource

    Language:

    English

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