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    Title:

    Miniaturisierter CO₂-Sensor mit wafer-gebondetem photoakustischen MEMS-Detektor

    Contributors:

    Gaßner, Simon (author) / Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (degree granting institution) / Shaker Verlag (publisher)

    Published in:

    Gas sensor ; volume 16

    Gas Sensors ; volume 16

    Publication date:

    2024

    Size:

    iv, 91 Seiten

    Remarks:

    24 cm x 17 cm, 143 g
    Illustrationen, Diagramme
    Digital preservation by Universitätsbibliothek Freiburg

    ISBN:

    9783844094046 , 3844094040

    Type of media:

    Theses

    Type of material:

    Print

    Language:

    German

    Keywords:

    MEMS , Wafer-Integration , Kohlendioxid , Konzentration , Messung , Raumluft , Bonden , Photoakustische Spektrometrie , Gassensor

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