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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Miniaturisierter CO₂-Sensor mit wafer-gebondetem photoakustischen MEMS-Detektor

    Beteiligte:

    Gaßner, Simon (Autor:in) / Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (Grad-verleihende Institution) / Shaker Verlag (Verlag)

    Erschienen in:

    Gas sensor ; volume 16

    Gas Sensors ; volume 16

    Erscheinungsdatum:

    2024

    Format / Umfang:

    iv, 91 Seiten

    Anmerkungen:

    24 cm x 17 cm, 143 g
    Illustrationen, Diagramme
    Langzeitarchivierung durch Universitätsbibliothek Freiburg

    ISBN:

    9783844094046 , 3844094040

    Medientyp:

    Hochschulschrift

    Format:

    Print

    Sprache:

    Deutsch

    Schlagwörter:

    MEMS , Wafer-Integration , Kohlendioxid , Konzentration , Messung , Raumluft , Bonden , Photoakustische Spektrometrie , Gassensor

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