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Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mit einer Schichtfolge (131, 132, 133) der einzelnen Komponenten des Aktivhartlotmaterials beschichtet wird, wobei die mittlere Stärke der Schichten einer einzelnen Komponente des Aktivhartlots nicht mehr als 0,5 %, insbesondere nicht mehr als 0,2%, vorzugsweise nicht mehr als 0,1% und besonders bevorzugt nicht mehr als 0,05% der Stärke der Fügestelle beträgt.
A method for producing a connection between two surfaces or surface sections of two ceramic parts comprises: provision of a first ceramic part and of a second ceramic part; provision of an active brazing solder material on at least one surface section of at least one of the ceramic parts; and heating the active brazing solder in a vacuum brazing process. The whole active brazing solder material is provided for connecting the first and the second ceramic part by a sputtering method, wherein at least one surface section of at least one of the ceramic parts, preferably of the two ceramic parts, is layered with a layer sequence of individual components of the active brazing solder material, wherein the average strength of the layers of an individual component of the active brazing solder is no more than 0.5%, in particular not more than 0.2%, preferably not more than 0.1% and especially preferably not more than 0.05% of the strength of the joining region.
Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mit einer Schichtfolge (131, 132, 133) der einzelnen Komponenten des Aktivhartlotmaterials beschichtet wird, wobei die mittlere Stärke der Schichten einer einzelnen Komponente des Aktivhartlots nicht mehr als 0,5 %, insbesondere nicht mehr als 0,2%, vorzugsweise nicht mehr als 0,1% und besonders bevorzugt nicht mehr als 0,05% der Stärke der Fügestelle beträgt.
A method for producing a connection between two surfaces or surface sections of two ceramic parts comprises: provision of a first ceramic part and of a second ceramic part; provision of an active brazing solder material on at least one surface section of at least one of the ceramic parts; and heating the active brazing solder in a vacuum brazing process. The whole active brazing solder material is provided for connecting the first and the second ceramic part by a sputtering method, wherein at least one surface section of at least one of the ceramic parts, preferably of the two ceramic parts, is layered with a layer sequence of individual components of the active brazing solder material, wherein the average strength of the layers of an individual component of the active brazing solder is no more than 0.5%, in particular not more than 0.2%, preferably not more than 0.1% and especially preferably not more than 0.05% of the strength of the joining region.
Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
DREWES ULFERT (author) / PONATH NILS (author) / ROSSBERG ANDREAS (author) / THAM ANH TUAN (author)
2016-03-31
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G01L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
,
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
European Patent Office | 2017
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|European Patent Office | 2016
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